[发明专利]用于石墨烯形成的方法和系统有效
申请号: | 201480004713.3 | 申请日: | 2014-01-10 |
公开(公告)号: | CN104919077B | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 大卫·A·博伊德;乃-昌·叶 | 申请(专利权)人: | 加州理工学院 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 白云,郑霞 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 石墨 形成 方法 系统 | ||
1.一种石墨烯结构,包括:
铜基底;和
单一的单层的石墨烯,其被布置于所述铜基底上且具有小于或等于100nm2的测量面积,其中所述单一的单层的石墨烯以高度变化为特征,所述高度变化以纳米来测量,使得所述高度变化与所述测量面积的比小于2.5×10-2每纳米。
2.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述高度变化与所述测量面积的所述比小于1.25×10-2每纳米。
3.如权利要求2所述的石墨烯结构,其中所述高度变化与所述测量面积的所述比小于1.0×10-2每纳米。
4.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述单一的单层的石墨烯以小于0.05%的应变变化为特征。
5.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述铜基底包括单晶铜基底。
6.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述测量面积与尺寸范围在100μm和300μm之间的晶粒相关。
7.如权利要求5所述的石墨烯结构,其中所述单晶铜基底包括单晶(100)基底。
8.如权利要求5所述的石墨烯结构,其中所述单晶铜基底包括单晶(111)基底。
9.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述高度变化与所述测量面积的所述比大于0.25×10-2每纳米。
10.如权利要求6所述的石墨烯结构,其中所述测量面积无晶界。
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