[发明专利]用于石墨烯形成的方法和系统有效

专利信息
申请号: 201480004713.3 申请日: 2014-01-10
公开(公告)号: CN104919077B 公开(公告)日: 2017-08-29
发明(设计)人: 大卫·A·博伊德;乃-昌·叶 申请(专利权)人: 加州理工学院
主分类号: C23C14/02 分类号: C23C14/02
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 代理人: 白云,郑霞
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 石墨 形成 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种石墨烯结构,包括:

铜基底;和

单一的单层的石墨烯,其被布置于所述铜基底上且具有小于或等于100nm2的测量面积,其中所述单一的单层的石墨烯以高度变化为特征,所述高度变化以纳米来测量,使得所述高度变化与所述测量面积的比小于2.5×10-2每纳米。

2.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述高度变化与所述测量面积的所述比小于1.25×10-2每纳米。

3.如权利要求2所述的石墨烯结构,其中所述高度变化与所述测量面积的所述比小于1.0×10-2每纳米。

4.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述单一的单层的石墨烯以小于0.05%的应变变化为特征。

5.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述铜基底包括单晶铜基底。

6.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述测量面积与尺寸范围在100μm和300μm之间的晶粒相关。

7.如权利要求5所述的石墨烯结构,其中所述单晶铜基底包括单晶(100)基底。

8.如权利要求5所述的石墨烯结构,其中所述单晶铜基底包括单晶(111)基底。

9.如权利要求1所述的石墨烯结构,其中所述高度变化与所述测量面积的所述比大于0.25×10-2每纳米。

10.如权利要求6所述的石墨烯结构,其中所述测量面积无晶界。

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