[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像数据的图像生成装置、具备该图像生成装置的缺陷检查装置以及缺陷检查方法。

背景技术

在现有技术中，作为用于检查偏振薄膜、相位差薄膜等薄片状成形体的缺陷的方法，公知有利用了照相机的检查。例如，JP特开2007-333563号公报(专利文献1)中，通过光源向薄片状成形体照射光，通过线传感器照相机(line sensor camera)拍摄透过以及折射了该薄片状成形体的透射光像，从而检查该薄片状成形体的缺陷。此外，在现有技术中，还公知有拍摄反射光像来代替拍摄透射光像，由此检查薄片状成形体的缺陷的方法。

利用图10，说明通过线传感器照相机检查有无在薄片状成形体中产生的点状凹部缺陷的方法的一例。假设图10所示的薄片状成形体L在其宽度方向X中央产生了点状凹部缺陷L₁。薄片状成形体L被传输到其长边方向Y的一方，其结果，如图10(a)～图10(c)所示，凹部缺陷L₁沿着长边方向Y的一方而依次移动。

如图10(a)～图10(c)所示，通过在宽度方向X上延伸的未图示的光源，在薄片状成形体L中产生了明部L₂和暗部L₃。光源的位置被固定，通过传输薄片状成形体L，从而明部L₂的位置在薄片状成形体L上沿着长边方向Y的另一方而依次移动。将未图示的线传感器照相机设置成该明部L₂与暗部L₃的边界线附近成为摄像范围B。线传感器照相机的位置相对于光源是固定的，稳定地传输薄片状成形体L，且只要凹部缺陷L₁不存在于摄像区域附近，就如图10(a)以及图10(c)所示，明部L₂与暗部L₃的边界线附近的像就相同，通过线传感器照相机取得的图像G₁、G₃也相同。但是，如图10(b)所示，在凹部缺陷L₁位于摄像区域附近的情况下，明部L₂与暗部L₃的边界线附近的像就会因该凹部缺陷L₁而发生变化，其结果，通过线传感器照相机取得的图像G₂中，与图像G₁、G₃变得不同，暗部L₃被拍摄得较大。因此，如图10(d)所示，依次合成通过线传感器照相机取得的图像，从而能够合成通过暗部表示了凹部缺陷L₁的位置的检查用图像G₄。

如上所述，利用图10说明的缺陷检查的方法以稳定地传输薄片状成形体L作为前提。但是，薄片状成形体L有时会在传输中不稳定，不可能做到完全稳定的传输。如果薄片状成形体L在传输中有变化，则该薄片状成形体L与线传感器照相机以及光源之间的位置关系发生变化，因此有时无法通过上述缺陷检查的方法很好地发现缺陷。

另外，在本发明中，薄片状成形体有变化的状态是指，例如在水平方向上传输薄片状成形体的情况下，指薄片状成形体的一部分或全部在上下被激烈地晃动的状态，例如在垂直方向上传输薄片状成形体的情况下，指薄片状成形体的一部分或全部在左右被激烈地晃动的状态。

利用图11来说明薄片状成形体L有变化的情况。在图11(a)以及图11(b)中，未产生变化，与图10(a)以及图10(b)的状态相同，在图11(c)中，产生了变化。如图11(c)所示，如果薄片状成形体L有变化，则即便凹部缺陷L₁不在摄像区域附近，明部L₂与暗部L₃的边界线附近的像也会因薄片状成形体L的变化而发生改变，其结果，在通过线传感器照相机取得的图像G₅中，与图像G₁、G₂不同，有时暗部L₃会被拍得较大。此时，在应该通过暗部显示凹部缺陷L₁的位置的检查用图像G₆中如图11(d)所示那样会产生与凹部缺陷L₁无关的暗部，有可能会错误地判断为在与凹部缺陷L₁无关的位置上也存在缺陷。此外，在不同于图11的变化的状态下，当凹部缺陷L₁位于摄像区域附近时，有时通过线传感器照相机取得的图像会拍到暗部L₃，有可能会错误地判断为薄片状成形体L中没有缺陷。

发明内容