[发明专利]流体控制阀有效
申请号: | 201480005162.2 | 申请日: | 2014-01-17 |
公开(公告)号: | CN104919230B | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | P·D·卢卡斯;G·希尔;J·W·皮塞拉 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 |
主分类号: | F16K3/04 | 分类号: | F16K3/04;F16K31/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈珊;刘兴鹏 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 控制 | ||
1.一种阀组件,包括:
阀体,其包括通道,第一气体能够通过所述通道传送通过所述阀组件;
阀流量控制元件,其能够相对于所述阀体在打开位置和关闭位置之间移动,其中在打开位置通过所述通道的流量处于最大流量,其中在关闭位置通过所述通道的流量处于最小流量,所述阀流量控制元件被成形以使得在所述阀体和所述阀流量控制元件之间提供控制间隙,第一气体能够流动通过所述控制间隙,并且所述控制间隙的尺寸根据所述阀流量控制元件相对于所述阀体的位置而变化;以及
气体喷射器装置,其用于当所述阀组件用于控制通过所述通道的所述第一气体的流量时将第二气体选择性地喷射到所述控制间隙内。
2.根据权利要求1所述的阀组件,其中所述阀组件是蝶形阀,并且所述阀流量控制元件是可移动挡板。
3.根据权利要求1所述的阀组件,其中所述阀组件是钟摆阀,并且所述阀流量控制元件是可移动圆盘。
4.根据权利要求1所述的阀组件,其中所述阀组件具有取决于所述阀流量控制元件相对于所述阀体的位置的阀流导,并且当所述阀流量控制元件在所述关闭位置或接近所述关闭位置时,所述气体喷射器装置将所述第二气体喷射到所述控制间隙内以降低所述阀的阀流导。
5.根据权利要求1所述的阀组件,其中所述第二气体处于高于所述第一气体的温度,以使得所述第一气体和所述第二气体在高于所述第一气体的冷凝温度的温度下混合。
6.根据权利要求1所述的阀组件,其中气体喷射器装置包括在所述阀流量控制元件内的次级通道,用于将所述第二气体引导到所述控制间隙。
7.根据权利要求6所述的阀组件,其中所述阀流量控制元件包括至少两个板,所述两个板被构造和布置以限定所述喷射器装置的所述次级通道的至少部分。
8.根据权利要求7所述的阀组件,还包括设置在所述两个板之间的间隔件。
9.根据权利要求6所述的阀组件,其中所述装置包括在所述阀流量控制元件内的孔隙,用于将所述第二气体引导到所述控制间隙中。
10.根据权利要求9所述的阀组件,其中在所述阀流量控制元件中的所述孔隙被布置以从所述阀流量控制元件在径向向外方向上引导所述第二气体。
11.根据权利要求9所述的阀组件,其中在所述阀流量控制元件中的所述孔隙被布置以在与所述第一气体的流动相同的下游方向上引导所述第二气体。
12.一种在原位清洁阀组件的方法,所述阀组件包括阀体和用于控制第一气体流动通过所述阀组件的阀流量控制元件,所述方法包括:
当所述阀组件用于控制通过所述通道的所述第一气体的流量时,将第二气体选择性地喷射到所述阀体和所述阀流量控制元件之间的控制间隙中,所述第一气体能够流动通过所述控制间隙。
13.根据权利要求12所述的方法,其中所述第二气体是不与所述第一气体反应的气体。
14.根据权利要求12所述的方法,其中所述阀组件是蝶形阀,并且所述阀流量控制元件是可移动挡板。
15.根据权利要求12所述的方法,其中所述阀组件是钟摆阀。
16.根据权利要求12所述的方法,其中所述阀组件具有取决于所述阀流量控制元件相对于所述阀体的位置的阀流导,并且选择性地喷射包括当所述阀流量控制元件在关闭位置或接近关闭位置时将所述第二气体喷射到所述控制间隙内以降低所述阀的所述阀流导。
17.根据权利要求12所述的方法,其中所述第二气体处于高于所述第一气体的温度,以使得所述第一气体和所述第二气体在高于所述第一气体的冷凝温度的温度下混合。
18.根据权利要求12所述的方法,还包括将气体传送通过在所述阀流量控制元件中的次级通道以将所述第二气体引导到所述控制间隙。
19.根据权利要求18所述的方法,其中所述阀流量控制元件包括至少两个板,所述两个板被构造和布置以限定所述次级通道的至少部分。
20.根据权利要求19所述的方法,还包括在所述两个板之间设置间隔件。
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