[发明专利]泵组件和用于将充满蒸汽的腔室抽空的方法

权利要求书

1.一种由真空泵(16)和腔室(15)制得的组件，其中进气通道(17)在所述腔室(15)与所述真空泵(16)的进口区域之间延伸，并且其中所述真空泵(16)为液环机，其特征在于液体出口(18)布置在所述进气通道(17)中以便将从所述腔室(15)中抽出的气体与液体混合，所述液体出口(18)被并在真空泵中。

2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于所述真空泵(16)设计为用于生成小于150mbar真空的目的。

3.根据权利要求1所述的组件，其特征在于所述真空泵(16)设计为用于生成小于100mbar真空的目的。

4.根据权利要求1所述的组件，其特征在于所述真空泵(16)设计为用于生成小于70mbar真空的目的。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的组件，其特征在于所述液体出口(18)包括喷雾开口。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的组件，其特征在于分离器(22)连接到所述真空泵(16)的输出侧(21)，以便收集由所述真空泵(16)输送的液体量。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的组件，其特征在于为所述液体提供了回流管(24)，所述回流管(24)从所述真空泵(16)的出口侧(21)延伸直至到所述液体出口(18)。

8.根据权利要求7所述的组件，其特征在于所述真空泵(16)包括用于供应操作液体的进口(25)，并且所述进口(25)连接到所述回流管(24)。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的组件，其特征在于由新鲜水接头(20)用于供应液体到所述液体出口(18)和/或到用于操作液体的进口(25)。

10.根据权利要求9所述的组件，其特征在于所述新鲜水接头(20)在回流管(24)中展开，并且单向阀(26)布置在所述新鲜水接头(20)与所述真空泵(16)的出口侧(21)之间的所述回流管(24)中。

11.根据权利要求9所述的组件，其特征在于所述新鲜水接头(20)具备开关阀(19)，其中所述开关阀(19)由控制装置(27)控制。

12.根据权利要求11所述的组件，其特征在于所述控制装置(27)连接到用于所述液体的温度的温度传感器(29)，并且所述控制装置(27)设计为当所述温度超过预定阈值时打开所述开关阀(19)。

13.根据权利要求11所述的组件，其特征在于所述控制装置(27)连接到用于所述进气通道(17)的压力的压力传感器(28)，并且所述控制装置(27)设计为当所述压力降到预定阈值以下时打开开关阀(19)。

14.一种用于抽空充满蒸汽的腔室(15)的方法，借助于该方法操作借助于进气通道(17)连接到所述腔室(15)的真空泵(16)，以便将所述蒸汽从所述腔室(15)中抽出，所述进气通道(17)在所述腔室(15)与所述真空泵(16)的进口区域之间延伸，并且借助于该方法向所述进气通道(17)供应液体使得所述蒸汽冷凝，所述液体供应至并在真空泵中的液体出口。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于当所述进气通道(17)中的压力高于预定阈值并且当所述真空泵(16)的出口侧(21)处的液体的温度低于预定阈值时，所述液体从所述真空泵(16)的所述出口返回到所述进气通道(17)。

16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于当所述进气通道(17)中的所述压力降到预定阈值以下时，向所述进气通道(17)供应新鲜水。

17.根据权利要求15或16所述的方法，其特征在于当所述真空泵(16)的所述出口侧(21)处的液体的温度超过所述预定阈值时，向所述进气通道(17)供应新鲜水。