[发明专利]用于沉积多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201480005255.5 | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN104918883B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 芭芭拉·米勒;托马斯·科克 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 张英,宫传芝 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 多晶 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于沉积多晶硅的方法，包括将包括含硅组分和氢的反应气体引入至反应器，其结果是多晶硅以棒形式沉积，其中，所述沉积结束之后且在开始拆除棒之前，通过将反应器钟罩升高至底板之上打开所述反应器并通风一特定的时间段，
其中形成并用于通风和供应介质的间隙是所述底板上的所述反应器的总高度的0.5-15％，
其中通过所述间隙引入气态介质以及通过抽吸装置或通过观察孔再除去所述气态介质，
其中用于通风的时间段构成小于十分之一的沉积处理步骤，所述用于通风的时间段从沉积一批次多晶硅之后打开所述反应器开始，并包括当棒已经达到期望的最终直径时沉积已经结束之后至除去钟罩或其部件的时间段，除去钟罩或其部件的目的是从所述反应器拆除第一多晶硅棒，并且引入的气态介质的体积流动速率是50-2000m3/h，
其中，将潮湿的氮和/或空气引入至所述反应器中作为用于通风的气态介质。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述底板和所述钟罩之间提供载体。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，通过在线监控形成的氯化氢气体的量监控钟罩沉积的反应性消耗，且根据待实现的限制浓度终止所述通风。
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