[发明专利]光学显微镜和显微术方法

权利要求书

1.一种光学显微镜，

具有样本平面(40)，待研究的样本(41)能够定位在所述样本平面上，

具有用于发出照明光线(15)的光源(10)，

具有用于将照明光线(15)导入样本平面(40)中的光学成像器件(16、17、20、21、30)并且

具有探测器装置(60)，所述探测器装置具有多个探测器元件(61-64)来检测来自样本(41)的样本光线(45)，

其中，相邻的探测器元件(63、64)彼此之间的距离小于样本平面(40)的点在探测器装置(60)上产生的埃里斑，

其特征在于，

设有带至少一个第一和第二光学装置(51、52)的扫描装置(50)，

所述扫描装置(50)的光学装置(51、52)能够同时沿共同的方向运动，以便产生彼此方向相反的照明扫描运动(81)和探测扫描运动(82)，

其中，照明扫描运动(81)是照明光线(15)在样本平面(40)上的扫描运动并且

其中，作为探测扫描运动(82)，探测器元件(61-64)的接收区域能够在样本平面(40)上运动，

第一和第二光学装置(51、52)分别具有多个并排布置的光学元件(71、72)，通过所述光学元件能够同时研究相互间隔的样本区域，

第一和第二光学装置(51、52)布置为，使得从样本平面(40)照向探测器装置(60)的样本光线(45)的光路以及从光源(10)照向样本平面(40)的照明光线(15)的光路均经过第一光学装置(51)并且这两条光路中只有一条经过第二光学装置(52)，并且

为了实现与照明扫描运动(81)的方向相反的探测扫描运动(82)的方向，能够通过扫描装置(50)使样本光线(45)非倒立地并且以小于1的成像比例成像。

2.按权利要求1所述的光学显微镜，其特征在于，所述成像比例是1:2。

3.按权利要求1或2所述的光学显微镜，其特征在于，为了非倒立地成像，第一或第二光学装置(51；52)的光学元件(71；72)各自具有会聚光线的作用并且另一光学装置(52；51)的光学元件(72；71)各自具有发散光线的作用。

4.按权利要求1或2所述的光学显微镜，其特征在于，

所述扫描装置(50)具有第三光学装置，所述第三光学装置包括一个或多个成像区域旋转器并且布置在样本光线(45)的光路中，

通过第一光学装置(51)或者通过第一和第二光学装置(51、52)能够产生倒立的像，通过所述一个或多个成像区域旋转器的成像区域旋转能够将所述倒立的像转变为非倒立的像。

5.按权利要求4所述的光学显微镜，其特征在于，所述扫描装置(50)具有第三和第四光学装置作为成像区域旋转器，所述第三和第四光学装置分别具有用于第一光学装置(51)的每个光学元件(71)的光学元件(73、74)。

6.按权利要求4所述的光学显微镜，其特征在于，

从样本平面(40)朝向探测器装置(60)的样本光线(45)的光路经过第一和第二光学装置(51、52)并且

第一和第二光学装置(51、52)的光学元件(71、72)分别具有会聚光线的作用。

7.按权利要求1或2所述的光学显微镜，其特征在于，

为了在第一光学装置(51)与样本平面(40)之间产生共焦的样本成像，设有孔光圈装置(55)，所述孔光圈装置能够与第一和第二光学装置(51、52)共同运动，并且

所述孔光圈装置(55)针对第一光学装置(51)的每个光学元件(71)分别具有孔光圈(75)。

8.按权利要求1或2所述的光学显微镜，其特征在于，所述扫描装置(50)的光学装置(51、52)分别通过可旋转的盘(51、52)实现。

9.按权利要求8所述的光学显微镜，其特征在于，所述可旋转的盘(51、52)支承在共同的驱动轴(65)上。

10.按权利要求1或2所述的光学显微镜，其特征在于，设有用于使扫描装置(50)的光学装置(51、52)线性移动的调节装置。