[发明专利]图像生成装置、缺陷检查装置以及缺陷检查方法有效
申请号: | 201480006156.9 | 申请日: | 2014-01-28 |
公开(公告)号: | CN104956210B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 尾崎麻耶 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;G01B11/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像 生成 装置 缺陷 检查 以及 方法 | ||
1.一种图像生成装置,生成用于检查薄片状成形体的缺陷的图像,该图像生成装置具备:
传输部,以预先确定的传输速度将薄片状成形体沿着其长边方向传输;
光照射部,向被传输的所述薄片状成形体照射光;
摄像部,与被传输的所述薄片状成形体的表面对置地配置该摄像部,以预先确定的时间间隔拍摄该薄片状成形体的表面的一部分来生成多个二维图像,该摄像部设定所述时间间隔以使通过连续的两次摄像动作所拍摄的摄像区域部分重叠;
特征量计算部,通过预先确定的算法处理,基于各像素的亮度值来计算出构成各所述二维图像的各像素的特征量;
处理图像数据生成部,将构成各所述二维图像的各像素区分为所述特征量在预先确定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素,与各二维图像对应地生成针对所述缺陷像素赋予与所述特征量相应的灰度值、且针对所述剩余像素赋予零的灰度值的处理图像;和
缺陷映像图像生成部,通过对所述处理图像数据生成部生成的多个处理图像进行合成,生成表示薄片状成形体中的缺陷的分布的缺陷映像图像,
其特征在于,
该缺陷映像图像生成部具有:
缺陷映像图像坐标值计算部,基于构成各处理图像的各像素的坐标值、所述传输速度以及所述时间间隔,计算出用于构成所述缺陷映像图像的各像素的坐标值;
累计部,进行下述(1)或下述(2)中的任一方,或者进行下述(1)以及下述(2)这两方:(1)针对所述缺陷映像图像的各像素,计数处理图像中的对应的像素内的缺陷像素的数量;(2)针对所述缺陷映像图像的各像素,计算对处理图像中的对应的像素赋予的灰度值的总计;和
亮度值设定部,将基于在所述(1)中得到的缺陷像素的数量和/或在所述(2)中得到的灰度值的总计计算出的值设定为所述缺陷映像图像的各像素的亮度值,从而生成缺陷映像图像。
2.根据权利要求1所述的图像生成装置,其中,
所述时间间隔被设定为所述部分重叠的摄像区域在所述长边方向上的长度是各所述二维图像在所述长边方向上的长度的1/2倍以上。
3.一种缺陷检查装置,其特征在于,具备:
权利要求1或2所述的图像生成装置;和
显示部,显示由所述图像生成装置的缺陷映像图像生成部生成的缺陷映像图像。
4.一种缺陷检查方法,用于检查薄片状成形体的缺陷,包括:
传输步骤,通过传输部,以预先确定的传输速度将薄片状成形体沿着其长边方向传输;
光照射步骤,向被传输的所述薄片状成形体照射光;
摄像步骤,通过与被传输的所述薄片状成形体的表面对置地配置的摄像部,以预先确定的时间间隔拍摄该薄片状成形体的表面的一部分来生成多个二维图像,在该摄像步骤中设定所述时间间隔以使通过连续的两次摄像动作所拍摄的摄像区域部分重叠;
特征量计算步骤,通过预先确定的算法处理,基于各像素的亮度值来计算出构成各所述二维图像的各像素的特征量;
处理图像数据生成步骤,将构成各所述二维图像的各像素区分为所述特征量在预先确定的阈值以上的缺陷像素和所述特征量小于所述阈值的剩余像素,与各二维图像对应地生成针对所述缺陷像素赋予与所述特征量相应的灰度值、且针对所述剩余像素赋予零的灰度值的处理图像;
缺陷映像图像生成步骤,通过对在所述处理图像数据生成步骤中生成的多个处理图像进行合成,生成表示薄片状成形体中的缺陷的分布的缺陷映像图像;和
显示步骤,显示在所述缺陷映像图像生成步骤中生成的缺陷映像图像,
其特征在于,
该缺陷映像图像生成步骤包括:
缺陷映像图像坐标值计算步骤,基于构成各处理图像的各像素的坐标值、所述传输速度以及所述时间间隔,计算出用于构成所述缺陷映像图像的各像素的坐标值;
累计步骤,进行下述(1)或下述(2)中的任一方,或者进行下述(1)以及下述(2)这两方:(1)针对所述缺陷映像图像的各像素,计数处理图像中的对应的像素内的缺陷像素的数量,(2)针对所述缺陷映像图像的各像素,计算对处理图像中的对应像素赋予的灰度值的总计;和
亮度值设定步骤,将基于在所述(1)中得到的缺陷像素的数量和/或在所述(2)中得到的灰度值的总计计算出的值设定为所述缺陷映像图像的各像素的亮度值,从而生成缺陷映像图像。
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