[发明专利]生产三氯甲硅烷的方法

权利要求书

1.一种用于生产三氯甲硅烷的设备，包括：

供应硅烷类化合物的装置，该硅烷类化合物中含有液态四氯化硅；

用于可选择地供应氯化氢的装置；

用于混合从各自装置供应的硅烷类化合物与可选择地供应的氯化氢以制备液态混合物的单元；

用于将金属硅颗粒供应至液态混合物并将金属硅颗粒分散在液态混合物中的装置；

装配有加热装置的管式反应器，向该管式反应器中供应金属硅颗粒在液态混合物中的分散体；

用于将氢气供应至管式反应器的装置；

用于从管式反应器排出的产物中收集三氯甲硅烷的装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，以将所述金属硅颗粒分散在液态的硅烷类化合物中的方式进行供给。

3.根据权利要求1所述的设备，还包括装配有搅拌器的原材料储存罐，在该原材料储存罐中储存金属硅颗粒在液态混合物中的分散体。

4.根据权利要求1所述的设备，其中，将金属硅颗粒在液态混合物中的分散体以防止金属硅颗粒沉淀的线速度供应至所述管式反应器中。

5.一种使用权利要求1至4任意一项所述的设备生产三氯甲硅烷的方法，包括：

将金属硅颗粒分散在含有四氯化硅的液态硅烷类化合物中；以及

在氢气存在的情况下可选择性地使金属硅颗粒与氯化氢反应。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述反应在管式反应器中以液相进行。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述反应在300℃到1000℃的温度下进行。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，所述反应在50巴到300巴的压力下进行。

9.根据权利要求5所述的方法，其中，所述金属硅颗粒的重均直径为30微米以下。

10.根据权利要求5所述的方法，其中，所述金属硅颗粒与所述液态硅烷类化合物的重量比为1:20到1:200。

11.根据权利要求5所述的方法，其中，所述液态硅烷类化合物是通过三氯甲硅烷的热分解沉积多晶硅中的副产物。

12.根据权利要求5所述的方法，其中，所述氢气与所述四氯化硅的重量比为1:20-200。

13.根据权利要求5所述的方法，其中，所述氯化氢与所述四氯化硅的重量比为1:0-10。

14.根据权利要求5所述的方法，还包括分离反应后产物中残留的硅颗粒。

15.根据权利要求5所述的方法，其中，所述金属硅颗粒在反应中用尽，反应后产物中未留下残余物。