[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，包含熔解步骤、澄清步骤及成形步骤，该玻璃基板的制造方法的特征在于：

所述澄清步骤中使用的澄清槽是由铂或铂合金构成，且具有用以对所述澄清槽进行通电加热的凸缘状的电极，

在所述澄清步骤中，

在经通电加热的澄清槽内，以具有气相空间的方式调整液位使熔融玻璃通过，由此进行脱泡，

为了抑制所述电极的发热而冷却所述电极，且

所述电极的冷却是以所述澄清槽的壁的温度成为超过所述澄清槽的气相空间内产生的铂蒸气凝结的温度的范围的方式加以控制。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，在所述澄清步骤中，

对所述电极或距离所述电极的位置50cm的范围内的澄清槽的温度进行测定，且

基于所述测定出的温度，调整所述电极的冷却量。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中，在所述澄清步骤中，

判定所述测定出的电极或距离电极的位置50cm的范围内的澄清槽的温度是否在预先规定的温度范围内，当所述判定的结果为测定出的温度处于所述预先规定的温度范围外时，调整所述冷却量。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，在所述澄清步骤中，使用氧化锡作为澄清剂。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述电极具有用以使冷媒通过的冷却管，且

所述澄清步骤是

增减通过所述冷却管的冷媒的量，由此而调整冷却量。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其中所述冷媒为气体。

7.一种玻璃基板制造装置，包含熔解槽、澄清槽及成形装置，该玻璃基板制造装置的特征在于：

所述澄清槽是由铂或铂合金构成，且具有用以对所述澄清槽进行通电加热的凸缘状的电极，

所述电极是为了抑制所述电极的发热而被冷却，且

所述电极的冷却是以所述澄清槽的壁的温度成为超过所述澄清槽的气相空间内产生的铂蒸气凝结的温度的范围的方式加以控制。