[发明专利]具有膜片结构的微机械构件

权利要求书

1.一种微机械构件(100)，其具有膜片结构，所述膜片结构以层结构实现在衬底(1)上，

其中，所述膜片结构包括膜片(11)，所述膜片通过至少一个弹性元件(12)集成到所述层结构中；

其中，所述膜片(11)跨越空穴(16)，以便所述膜片边缘的至少一个区段延伸到所述空穴(16)的边缘区域上；

其中，在膜片(11)和空穴边缘区域之间的重叠区域中构造至少一个锚固结构，

其特征在于，所述锚固结构包括至少一个锚固元件(21)和用于所述锚固元件(21)的贯通开口(20)，其中，所述锚固元件(21)由层结构在所述空穴边缘区域上结构化出，而用于所述锚固元件(21)的贯通开口(20)构造在所述膜片(11)的边缘区域中，使得在锚固元件(21)和贯通开口(20)之间存在空隙，所述空隙能够实现所述膜片(11)的机械应力松弛。

2.根据权利要求1所述的构件(100)，其特征在于，所述锚固元件(21)的底部与所述膜片(11)下方的空穴边缘区域固定地连接，而所述锚固元件(21)的头部(22)由所述膜片(11)上方的至少一层结构化出并且至少在一个区段中延伸到所述贯通开口(20)的边缘区域上。

3.根据权利要求2所述的构件(100)，其特征在于，具有所述锚固头部(22)的锚固元件(21)设计为用于所述膜片(11)的“平面外”运动的止挡部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的构件，其特征在于，设置有可控制的电路模块，所述膜片能够借助所述电路模块运动到所限定的位置并且保持在那里。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的构件，其特征在于，用于膜片悬挂的所述至少一个弹性元件以不仅“平面外”而且“平面内”弹性的弹性元件的形式实现。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的构件(100)，其特征在于，在膜片(11)和空穴边缘区域之间的重叠区域中构造至少一个密封唇(17)。

7.根据权利要求6所述的构件(100)，其特征在于，所述锚固结构布置在所述密封唇(17)和所述膜片(11)的外边缘之间。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的构件(100)，其特征在于，所述膜片(11)包括中间区域(113)，所述中间区域通过侧壁区域(112)与所述膜片(11)的边缘区域(111)连接，使得所述中间区域(113)基本上与所述边缘区域(111)平面平行地但错位地构造。

9.根据权利要求8所述的构件(200)，其特征在于，在所述膜片(11)的侧壁区域(112)中构造用于稳定所述膜片结构的皱纹(2112)。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的构件，其中，检测所述膜片(11)的“平面外”偏转作为麦克风信号，其特征在于，所述膜片(11)装配有用于信号检测的电容器装置的至少一个电极(13)，在所述层结构中在所述膜片(11)上方和/或下方构造具有贯通开口(15)的固定的、透声的相对元件(14)，所述相对元件起用于所述电容器装置的至少一个相对电极的载体的作用。