[发明专利]低电压MEMS快门组合件

权利要求书

1.一种设备，其包括：

静电致动组合件，其用于控制显示元件的悬置部分的位置，所述静电致动组合件包含：

两个悬置对置梁，包含用于支撑所述悬置部分的第一梁及与所述第一梁对置的第二梁，所述两个悬置对置梁中的每一者具有两个主要表面，且一起形成静电致动器；以及

保护涂层，其安置在所述两个悬置对置梁中的至少一者的仅一个主要表面的数部分之上，其中所述保护涂层经图案化以形成多个凸起片段。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述保护涂层包含电绝缘体。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述电绝缘体包含介电材料。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述保护涂层的厚度在约10nm到约400nm的范围内。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述两个悬置对置梁中的一者经塑形为环，所述环具有内部主要表面及外部主要表面，其中所述保护涂层安置在所述外部主要表面的仅数部分之上。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述保护涂层安置在与所述两个悬置对置梁中的另一者的主要表面对置的所述外部主要表面的仅一部分之上。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述保护涂层安置在所述两个悬置对置梁中的每一者的仅一个主要表面之上。

8.根据权利要求1所述的设备，其中安置在所述两个悬置对置梁中的第一者上的所述多个凸起片段中的至少一者定位成与安置在所述两个悬置对置梁中的第二者上的所述凸起片段中的两者之间的间隙对置，其中所述间隙的长度大于或等于所述多个凸起片段中的所述至少一者的长度。

9.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括：

显示器，其包含：

所述显示元件；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

10.根据权利要求9所述的设备，所述显示器进一步包含：

驱动电路，其经配置以将至少一个信号发送到所述显示器；以及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动电路。

11.根据权利要求9所述的设备，所述显示器进一步包含：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器，其中所述图像源模块包括接收器、收发器及发射器中的至少一者。

12.根据权利要求9所述的设备，所述显示器进一步包含：

输入装置，其经配置以接收输入数据并将所述输入数据传达给所述处理器。

13.一种用于形成静电致动器的方法，其包括：

在衬底上形成模具，其中所述模具包含第一壁及与所述第一壁对置的第二壁；

在所述第一壁及所述第二壁上沉积梁材料；

图案化所述梁材料以形成第一顺应性梁及与所述第一顺应性梁对置的第二顺应性梁；

在所述第一顺应性梁及所述第二顺应性梁之上沉积保护涂层以分别形成第一保护涂层及第二保护涂层；以及

在沉积所述保护涂层之后，去除所述模具，以释放用作所述静电致动器的对置电极的所述第一顺应性梁及所述第二顺应性梁。

14.根据权利要求13所述的方法，其进一步包括：在去除所述模具之前图案化所述第一保护涂层及所述第二保护涂层中的一者的至少一部分。

15.根据权利要求14所述的方法，其中图案化所述第一保护涂层及所述第二保护涂层中的一者的至少一部分包含保留经配置成彼此对置的所述第一及所述第二顺应性梁的表面上的所述第一及所述第二保护涂层的部分。

16.根据权利要求14所述的方法，其中图案化所述第一保护涂层及所述第二保护涂层中的一者的至少一部分包含去除所述第一保护涂层及所述第二保护涂层中的一者的部分以形成多个凸起片段。

17.根据权利要求13所述的方法，其进一步包括在去除所述模具之前图案化所述保护涂层以去除所述第一保护涂层的部分以形成第一多个凸起片段及去除所述第二保护涂层的部分以形成第二多个凸起片段。