[发明专利]抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法和用于其的多元酚衍生物

权利要求书

1.一种抗蚀剂组合物，其含有下述式(1)或式(2)所示的化合物，

式(1)中，R¹为碳数1～30的2n价烃基，式(2)中，R¹为单键、或碳数1～30的2n价烃基，该烃基可以具有环式烃基、双键、杂原子或碳数6～30的芳香族基团，其中，所述环式烃基不包括芳香族基团，R²分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、羟基或羟基的氢原子被酸解离性基团所取代的基团，同一萘环或苯环中R²可以彼此相同也可以不同，式(1)中，与不同萘环键合的各自的R²的至少2个为羟基的氢原子被酸解离性基团所取代的基团，式(2)中，R²的至少1个为羟基的氢原子被酸解离性基团所取代的基团，n为1～4的整数，式(1)和式(2)中的重复单元的结构式可以彼此相同也可以不同，式(1)中，m¹分别独立地为2～7的整数，式(2)中，X分别独立地为氧原子或硫原子，m²分别独立地为1～6的整数，q分别独立地为0或1。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物，其中，所述式(1)所示的化合物为下述式(1-1)所示的化合物，所述式(2)所示的化合物为式(2-1)所示的化合物，

式(1-1)中，R¹为碳数1～30的2n价烃基，式(2-1)中，R¹为单键、或碳数1～30的2n价烃基，该烃基可以具有环式烃基、双键、杂原子或碳数6～30的芳香族基团，其中，所述环式烃基不包括芳香族基团，R³分别独立地为氢原子、碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、或碳数2～10的烯基，同一萘环或苯环中R³可以彼此相同也可以不同，R⁴分别独立地为氢原子或酸解离性基团，式(1-1)中，与不同萘环键合的各自的R⁴O中的R⁴的至少2个为酸解离性基团，式(2-1)中，R⁴的至少1个为酸解离性基团，式(1-1)和式(2-1)中的重复单元的结构式可以彼此相同也可以不同，n为1～4的整数，式(1-1)中，m³分别独立地为2～7的整数，m⁴分别独立地为0～6的整数，m³+m⁴分别独立地为2～7的整数，式(2-1)中，m⁵分别独立地为1～6的整数，m⁶分别独立地为0～5的整数，m⁵+m⁶分别独立地为1～6的整数，q分别独立地为0或1。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物，其中，所述式(2)所示的化合物为下述式(2-2)所示的化合物，

式(2-2)中，R¹为单键、或碳数1～30的2n价烃基，该烃基可以具有环式烃基、双键、杂原子或碳数6～30的芳香族基团，其中，所述环式烃基不包括芳香族基团，R³分别独立地为氢原子、碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、或碳数2～10的烯基，同一萘环或苯环中R³可以彼此相同也可以不同，R⁴分别独立地为氢原子或酸解离性基团，R⁴的至少1个为酸解离性基团，式(2-2)中的重复单元的结构式可以彼此相同也可以不同，n为1～4的整数，式(2-2)中，m⁶分别独立地为0～5的整数，q分别独立地为0或1。