[发明专利]简化的灯具设计

说明书

本发明的实施例一般涉及简化的、高电压钨卤素灯具，用于使用作为快速热处理(RTP)腔室或其它灯具加热热处理腔室中的热辐射源。实施例包括灯具设计，灯具设计包括外部的保险丝，同时减少现有技术灯具的费用与部件数量。另外，本文所述的灯具的实施例提供足够的刚性来处理将灯具插入加热组件基部的压缩力，同时维持简化的保险丝设计。

发明背景

发明领域

本发明的实施例一般涉及用于热处理基板的设备。具体地，本发明的实施例涉及简化的、高电压的钨卤素灯具，用于使用作为快速热处理(RTP,rapid thermalprocessing)腔室或其它灯具加热热处理腔室中的热辐射源。

现有技术

在基板的RTP期间，热辐射一般用于在受控的环境中快速加热基板至高达大约1350℃的最大温度。此最大温度维持特定数量的时间，范围从小于一秒到数分钟，取决于特定的处理。基板之后冷却至室温，以进行另外的处理。

高电压(例如，大约40伏特至大约130伏特)钨卤素灯具通常使用作为RTP腔室中的热辐射源。高电压钨卤素灯具在电路中需要保险丝，以防止在灯具失效期间在灯具中的弧光放电与可能的爆炸。提供保险丝于灯具的瓶帽的内部难以实施，因为小的瓶帽尺寸与可能的污染物会影响卤素循环。提供保险丝于灯具的压接密封件中会导致压接密封件的非所欲破碎或破裂。因此，所欲的是，在瓶帽与压接密封件的外部并入保险丝。目前的灯具设计包括多个额外的部件(例如，不锈钢管、陶瓷罐状复合物、插座)，以提供保险丝于瓶帽与压接密封件的外部，同时提供足够的刚性给引线，使引线配接于RTP腔室的加热组件基部。

因此，所欲的是，提供简化的、高电压钨卤素灯具设计，以减少成本并且提供在灯具失效期间的弧光放电保护。

发明内容

在本发明的一个实施例中，一种灯具组件包括：瓶帽，所述瓶帽具有灯丝，所述灯丝设置于所述瓶帽中；压接密封件，所述压接密封件从所述瓶帽延伸并且配置来密封地密封所述瓶帽；第一引线与第二引线；第三引线，所述第三引线从所述压接密封件延伸；以及保险丝，所述保险丝在所述压接密封件与瓶帽的外部将所述第三引线电耦接于该所述第一与第二引线中的一个。所述第一与第二引线的每一个在所述压接密封件内电耦接于所述灯丝并且从所述压接密封件延伸。所述第三引线在所述压接密封件内与所述第一与第二引线电隔离。

在另一实施例中，一种灯具组件包括：瓶帽，所述瓶帽具有灯丝，所述灯丝设置于所述瓶帽中；压接密封件，所述压接密封件从所述瓶帽延伸并且配置来密封地密封所述瓶帽；第一引线与一第二引线；绝缘套管，所述绝缘套管在所述压接密封件的外部耦接于所述第一引线；第三引线，所述第三引线耦接于所述绝缘套管；以及保险丝，所述保险丝将所述第一引线电耦接于所述第三引线。所述第一与第二引线的每一个在所述压接密封件内电耦接于所述灯丝并且从所述压接密封件延伸。

在又另一实施例中，一种灯具组件包括：瓶帽，所述瓶帽具有灯丝，所述灯丝设置于所述瓶帽中；压接密封件，所述压接密封件从所述瓶帽延伸并且配置来密封地密封所述瓶帽；第一引线与第二引线；绝缘套管，所述绝缘套管耦接于所述压接密封件；第三引线，所述第三引线耦接于所述绝缘套管；以及保险丝，所述保险丝将所述第一引线电耦接于所述第三引线。所述第一与第二引线的每一个在所述压接密封件内电耦接于所述灯丝并且从所述压接密封件延伸。至少所述第一引线延伸进入所述绝缘套管中。

附图简单说明

因此，通过参照实施例，可更详细理解本发明的上述特征，且对简短总结于上的本发明有更具体的叙述，某些实施例是例示于附图中。但是，注意到，附图只例示本发明的一般实施例且因此不视为限制本发明的范围，因为本发明可容许其它等效实施例。

图1为RTP腔室的示意、横剖面视图，其中使用了本发明的实施例。

图2(现有技术)为现有技术的钨卤素灯具组件的示意、横剖面视图，用于使用于RTP腔室中，例如图1的RTP腔室。