[发明专利]密封装置

权利要求书

1.一种密封装置，其特征在于，

具有：

一对密封部，各自具有夹持对象物并对该对象物进行压力接触的压力接触部，以及

介质路径部，向所述一对密封部中的至少一个密封部输送介质；

所述至少一个密封部具有流通部，使介质在该流通部中流通，来在所述压力接触部与介质之间进行热交换，

所述介质路径部具有：

加热介质路径部，用于向所述流通部输送加热介质，来加热所述至少一个密封部的所述压力接触部，

冷却介质路径部，用于向所述流通部输送作为液体的冷却介质，来冷却所述至少一个密封部的所述压力接触部，

路径切换部，在所述加热介质路径部与所述流通部之间连通的状态和所述冷却介质路径部与所述流通部之间连通的状态之间进行切换，以及

压缩气体路径部，用于向所述流通部输送压缩气体；

为了冷却所述压力接触部，所述路径切换部进行切换，使得向所述流通部输送冷却介质，并且同步地向所述流通部输送压缩气体，然后为了从所述流通部排除所述冷却介质，所述路径切换部进行切换，使得停止向所述流通部输送所述冷却介质而仅输送所述压缩气体。

2.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，

所述一个密封部还具有支撑所述压力接触部的密封主体，

所述压力接触部配置为从所述密封主体突出，

所述压力接触部的至少侧端部构成为：从所述密封主体突出的突出量越朝向端部越小。

3.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，

所述加热介质为气体，

所述路径切换部进行切换，使得在向所述流通部输送加热介质前，向所述流通部输送压缩气体。

4.如权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述流通部的至少下方侧的内表面为圆弧状。

5.一种密封装置，其特征在于，

具有：

一对密封部，各自具有夹持对象物并对该对象物进行压力接触的压力接触部，以及

介质路径部，向所述一对密封部中的至少一个密封部输送介质；

所述至少一个密封部具有流通部，使介质在该流通部中流通，来在所述压力接触部与介质之间进行热交换，

所述介质路径部具有：

加热介质路径部，用于向所述流通部输送加热介质，来加热所述至少一个密封部的所述压力接触部，

冷却介质路径部，用于向所述流通部输送冷却介质，来冷却所述至少一个密封部的所述压力接触部，

压缩气体路径部，用于向所述流通部输送压缩气体，

路径切换部，在所述加热介质路径部与所述流通部之间连通的状态和所述冷却介质路径部与所述流通部之间连通的状态之间进行切换，以及

排出路径部，为了使各介质从所述流通部向装置的外部排出，该排出路径部使所述流通部与装置的外部之间连通或者断开；

所述加热介质为蒸气，

所述路径切换部进行切换，使得在向所述流通部输送加热介质之前，向所述流通部输送压缩气体，

在向所述流通部输送压缩气体时以及所述路径切换部切换为所述加热介质路径部与所述流通部之间连通的状态时，所述排出路径部使所述流通部与装置的外部之间连通，在变为所述加热介质路径部与所述流通部之间连通的状态起经过规定时间后，所述排出路径部使所述流通部与装置的外部断开。

6.如权利要求5所述的密封装置，其特征在于，

所述一个密封部还具有支撑所述压力接触部的密封主体，

所述压力接触部配置为从所述密封主体突出，

所述压力接触部的至少侧端部构成为：从所述密封主体突出的突出量越朝向端部越小。

7.如权利要求5所述的密封装置，其特征在于，所述流通部的至少下方侧的内表面为圆弧状。

8.如权利要求5所述的密封装置，其特征在于，

所述冷却介质为液体，

所述介质路径部还具有用于向所述流通部输送压缩气体的压缩气体路径部，

所述路径切换部进行切换，使得在向所述流通部输送冷却介质时，同步地向所述流通部输送压缩气体。