[发明专利]表面特性检查装置、表面特性检查系统以及表面特性检查方法

权利要求书

1.一种表面特性检查装置，用于检查实施过表面处理的被检体的表面特性，该表面特性检查装置的特征在于，具备：

交流桥电路；

交流电源，其向上述交流桥电路供给交流电力；以及

评价装置，其根据来自上述交流桥电路的输出信号，对被检体的表面特性进行评价，

其中，上述交流桥电路具有：可变电阻，其构成为在第一电阻和第二电阻之间分配比可变；检查检测器，其具备使交流磁场产生作用来在上述被检体中激发涡电流的线圈；以及基准检测器，其检测成为与来自上述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，上述第一电阻、上述第二电阻、上述基准检测器以及上述检查检测器构成上述交流桥电路，

上述评价装置根据在对上述交流桥电路供给交流电力而上述检查检测器检测出上述被检体的电磁特性且上述基准检测器检测出基准状态的状态下来自上述交流桥电路的输出信号，对上述被检体的表面特性进行评价。

2.根据权利要求1所述的表面特性检查装置，其特征在于，

以包围被检体的表面特性检查区域的方式卷绕上述线圈，通过向上述线圈供给交流电力而在上述表面特性检查区域中激发涡电流。

3.根据权利要求2所述的表面特性检查装置，其特征在于，

上述表面特性检查装置是被嵌入于进行喷丸处理来作为上述表面处理的表面处理装置中的表面特性检查装置，

上述表面特性检查装置还具备移动机构，该移动机构通过输送来使上述被检体或上述检查检测器移动，由此使上述被检体位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置。

4.根据权利要求2所述的表面特性检查装置，其特征在于，还具备：

第一输送机构，其能够上下地驱动上述被检体，将上述被检体输送到位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置以及该评价位置的上方侧和下方侧中的一方或双方的位置；以及

定位部，其对上述被检体在水平面内的位置进行定位，

其中，以由进行喷丸处理来作为上述表面处理的喷丸装置进行的表面处理工序中的在线或离线的方式对被检体的表面特性进行评价。

5.根据权利要求3或4所述的表面特性检查装置，其特征在于，

上述检查检测器构成为在具备齿轮部的被检体中激发涡电流。

6.根据权利要求5所述的表面特性检查装置，其特征在于，

还具备磁屏蔽件，该磁屏蔽件在上述线圈的外侧以包围被检体的方式配置，屏蔽外部磁。

7.根据权利要求6所述的表面特性检查装置，其特征在于，

还具备温度测量单元，该温度测量单元检测上述被检体的表面的温度，

在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围内的情况下，上述评价装置判断上述被检体的表面处理状态的好坏，在由上述温度测量单元检测出的温度在规定范围外的情况下，上述评价装置不进行上述被检体的表面处理状态的好坏判断。

8.一种表面处理装置，具备根据权利要求3所述的表面特性检查装置和将上述被检体保持为被定位的状态的保持部，进行喷丸处理来作为上述表面处理，该表面处理装置的特征在于，

上述表面特性检查装置在上述喷丸处理前后或者上述喷丸处理之后，通过输送来使上述检查检测器或上述保持部所保持的上述被检体移动，由此使上述保持部所保持的上述被检体位于上述检查检测器的上述线圈的内侧的评价位置，来检查上述被检体的表面特性。