[发明专利]质量转移工具操纵器组件和具有集成位移传感器的微型拾取阵列支座

权利要求书

1.一种微型拾取阵列支座，包括：

枢转平台；

基部，所述基部侧向地围绕所述枢转平台；

柔顺性元件，所述柔顺性元件位于所述枢转平台和所述基部之间，其中所述柔顺性元件在内枢轴处与所述枢转平台耦接并且在外枢轴处与所述基部耦接；和

位移传感器，所述位移传感器沿所述柔顺性元件的长度集成。

2.根据权利要求1所述的微型拾取阵列支座，其中所述位移传感器为应变仪，并且还包括沿所述柔顺性元件的长度集成的参考应变仪。

3.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，还包括：

第二柔顺性元件，所述第二柔顺性元件在第二外枢轴处与所述基部耦接并且在第二内枢轴处与所述枢转平台耦接；和

第二应变仪，所述第二应变仪沿所述第二柔顺性元件的长度集成。

4.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，其中所述柔顺性元件在第二内枢轴处与所述枢转平台耦接并且在第二外枢轴处与所述基部耦接。

5.根据权利要求4所述的微型拾取阵列支座，其中所述内枢轴从所述第二内枢轴跨所述枢转平台，并且其中所述外枢轴从所述第二外枢轴跨所述枢转平台。

6.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，其中所述柔顺性元件包括横梁，并且其中所述应变仪与所述横梁集成在接近所述内枢轴或所述外枢轴的应变区域中。

7.根据权利要求6所述的微型拾取阵列支座，其中所述应变仪键合到所述应变区域。

8.根据权利要求6所述的微型拾取阵列支座，其中所述应变仪沉积在所述应变区域上。

9.根据权利要求6所述的微型拾取阵列支座，其中所述应变区域被掺杂以形成所述应变仪。

10.根据权利要求6所述的微型拾取阵列支座，还包括与位于所述横梁上的所述应变仪相邻的参考应变仪，其中所述应变仪和所述参考应变仪提供惠斯通半桥中的相邻桥臂。

11.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，还包括位于所述枢转平台上的温度传感器。

12.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，还包括位于所述基部上的加热触件，所述加热触件与位于所述枢转平台上面的加热元件电连接。

13.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，还包括位于所述基部上的与所述位移传感器电连接的位移传感器触件。

14.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，还包括位于所述基部上的基部操作电压触件，所述基部操作电压触件与位于所述枢转平台上的枢转平台操作电压触件电连接。

15.根据权利要求2所述的微型拾取阵列支座，还包括位于所述基部上的基部钳位触件，所述基部钳位触件与位于所述枢转平台上的键合位处的钳位电极电连接。

16.一种质量转移工具组件，包括：

致动器组件，所述致动器组件与权利要求2所述的微型拾取阵列支座可操作地耦接。

17.根据权利要求16所述的质量转移工具组件，还包括位于所述基部上并与所述应变仪电连接的应变仪触件。

18.根据权利要求17所述的质量转移工具组件，还包括通过所述应变仪触件与所述应变仪电连接的位置感测模块。

19.根据权利要求18所述的质量转移工具组件，还包括位于加热元件和所述位置感测模块之间的绝缘板，其中所述基部与所述绝缘板耦接。

20.根据权利要求16所述的质量转移工具组件，还包括具有支撑静电转移头部阵列的衬底的微型拾取阵列，所述微型拾取阵列能够与所述枢转平台接合。