[发明专利]具有气隙结构的垂直耦合变压器有效
申请号: | 201480010148.1 | 申请日: | 2014-02-17 |
公开(公告)号: | CN105027236B | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | J-H·兰;C·S·罗;J·金;J·H·洪 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | H01F27/28 | 分类号: | H01F27/28;H01F41/04;H01L23/522;H01L49/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 亓云 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有气 结构 垂直 耦合 变压器 | ||
1.一种用于垂直耦合变压器的设备,包括:
低损耗基板;
在所述低损耗基板上形成的第一电感器结构,其中所述第一电感器结构包括第一电感器;
在所述第一电感器结构上形成的介电层;
在所述介电层中形成的第二电感器结构,其中所述第二电感器结构包括在所述介电层中形成的凹陷旁边的第二电感器,所述第一电感器结构与所述第二电感器结构对齐以形成变压器;以及
在所述第一电感器结构与所述第二电感器结构之间形成的气隙,其中所述气隙耦合至所述凹陷。
2.如权利要求1所述的设备,其特征在于:
所述气隙包括微机电系统(MEMS)气隙;以及
所述气隙的第一部分耦合至所述凹陷的在所述介电层中的所述凹陷的第二部分。
3.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述变压器包括垂直耦合变压器。
4.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述低损耗基板包括介电基板或半导体基板。
5.如权利要求1所述的设备,其特征在于,在经由蚀刻来沉积所述凹陷之后,所述气隙的一部分经由化学过程被置于所述凹陷中,并且其中所述低损耗基板包括玻璃、石英、蓝宝石、绝缘体上硅(SOI)基板、砷化镓(GaAs)、磷酸铟(InO4P)、碳化硅(SiC)、塑料、罗杰斯层叠、氮化硅、氮氧化硅、陶瓷、聚合物、环氧树脂或以上组合。
6.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一电感器结构和所述第二电感器结构包括方形平坦电感器、中空平坦电感器、环形平坦电感器、或八边形平坦电感器。
7.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一电感器结构和所述第二电感器结构包括方形螺旋电感器、中空螺旋电感器、环形螺旋电感器、或八边形螺旋电感器。
8.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一电感器结构包括多个第一电感器并且其中所述第二电感器结构包括多个第二电感器。
9.如权利要求8所述的设备,其特征在于,所述多个第一电感器被并行设置为第一堆栈,其中所述多个第二电感器被并行设置为第二堆栈,并且其中所述第一堆栈与所述第二堆栈并行设置。
10.如权利要求8所述的设备,其特征在于:
第一气隙位于所述多个第一电感器之间;
第二气隙位于所述多个第二电感器之间。
11.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一电感器和所述第二电感器被集成在至少一个半导体管芯中。
12.如权利要求1所述的设备,其特征在于,进一步包括选自以下各项的另一设备:蜂窝电话、无线局域网(WLAN)设备、机顶盒、音乐播放器、视频播放器、导航设备、个人数字助理(PDA)、位置固定的数据单元、以及计算机,所述各项中集成了所述低损耗基板、所述第一电感器结构、以及所述第二电感器结构。
13.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一电感器包括两个毗邻电感器,并且其中所述气隙位于这两个毗邻电感器上方。
14.如权利要求1或权利要求13所述的设备,其特征在于,所述第二电感器包括两个毗邻电感器,并且其中所述气隙位于所述第二电感器的所述两个毗邻电感器下方。
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