[发明专利]具有实时健康监测和补偿的压力传感器

权利要求书

1.用于测量气体或液体压力的压力传感器，包括：

腔室，所述腔室具有接收气体或液体的入口；

位于腔室内的柔性膜片，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面；

压力传感器系统，所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化；以及

压力不敏感传感器系统，所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化，并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感；

其中所述压力不敏感传感器系统包括：

在所述柔性膜片上或所述柔性膜片内的不同压力敏感位置处的多个局部传感器；以及

外推处理系统，根据所述多个局部传感器的输出，所述外推处理系统外推所述柔性膜片上或所述柔性膜片内的压力不敏感位置处的变化，所述压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中：

所述柔性膜片具有由压力不敏感位置构成的线，每个压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化；

所述多个局部传感器中的至少两个定位在所述线的相反侧上。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其中：

所述柔性膜片具有由压力不敏感位置构成的线，每个压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化；以及

所述多个局部传感器中的至少两个定位在所述线的相同侧上。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述外推处理系统根据以下方程式计算在压力不敏感位置处的应力：

σ1′σ2′′-σ1′′σ2′σ1′+σ2′′+σ1′′-σ2′+σinitial]]>

其中：

σ₁'和σ₂'是在分别受到实质上不同的压力P1和P2时来自所述多个局部传感器中的一个的输出；

σ₁”和σ₂”是在分别受到同样的实质上不同的压力P1和P2时来自所述多个局部传感器中的另一个的输出；以及

σ_initial是在暴露于压力P1和P2之前被置于所述柔性膜片上并且在暴露于压力P1和P2期间仍保持在所述柔性膜片上的任何应力。