[发明专利]气体冷却器

说明书

技术领域

本发明涉及一种例如对通过利用CVD法(化学气相沉积法)的渗硅处理来制造高浓度硅钢带的设备的排气进行冷却的气体冷却器(排气冷却装置)那样，含有粉尘的排气冷却用的气体冷却器。

背景技术

制造高硅钢带的炉设备的排气含有氯化亚铁(FeCl₂，以下称为氯化铁)，该物质具有沸点1024℃、熔点670℃的物性。

若将该排气从炉内温度骤冷至熔点以下，则在排气中氯化铁作为细粉末而生成。在利用气体冷却器将排气从该温度进一步冷却的情况下，在气体冷却器的导热面附着氯化铁(粉尘)。因此，在气体冷却器中需要除尘装置。若没有除尘装置，则不仅冷却能力降低，排气流道也会因附着于导热面的氯化铁而堵塞，炉的运转无法继续。

因此，在气体冷却器中迫切期望具有能够简单地去除附着于构成导热面的冷却管部的粉尘并且能够防止在冷却管部的粉尘所产生的附着物的生长的机构。例如，在专利文献1中提出了具有去除冷却管所附着的粉尘的机构的气体冷却器。

专利文献1所公开的气体冷却器公开了具有“除尘机构，该除尘机构由如下部件构成：除尘板，其具有多个能够供冷却管可滑动地插入或者宽松地插入的插入孔，并以在上述各插入孔插入或者宽松地插入冷却管的方式安装于上述多个冷却管；以及移动机构，其使该除尘板相对于冷却管的管轴向移动”(参照专利文献1的权利要求1)。

作为移动机构，在专利文献1记载了在上述各除尘板经由由压盖填料以及气密用轴套构成的密封件而连接有插入机器内的滑动轴的前端，通过使该滑动轴在其长边方向滑动，使各除尘板沿冷却管的管轴向滑动。更具体而言，记载了在移动机构中使用驱动装置(气缸装置)，利用连结板连结向机器外伸出的多个滑动轴，在该连结板连接有作为驱动装置的气缸装置的杆。

专利文献1：日本实开平5-27049号公报

如专利文献1所公开的那样，除尘板在整个面上具有多个插入孔，多个冷却管宽松地贯通于该插入孔，并使之往复移动。

除尘板配置于供气体通过的冷却室。驱动除尘板的驱动机构配置于冷却室的外侧。因此，驱动机构需要将进行了密封以使气体不漏出的的驱动轴从机器外侧插入冷却室内，支承驱动轴并且进行直线运动的引导，由此使除尘板向沿着冷却管的轴向的方向往复移动。换句话说，在这样的装置中，需要维持密封性并且进行直线移动。

然而，在专利文献1的构成中，由于滑动轴以及驱动轴一边承受除尘板的负载与粉尘的阻力一边进行往复移动，因此为了防止滑动轴以及驱动轴的挠曲，需要提高上述轴、其支承部的刚性。另外，若为了提高密封效果而增强滑动部的封闭性，则与此相应地滑动阻力变高，而需要进一步加大驱动力。

因此，在驱动以往的除尘板的驱动机构中，存在为了实现稳定的驱动而装置整体大型化这样的问题。

因此，期望开发一种能够小型化且兼得密封性与稳定的驱动的气体冷却器。

此外，如上所述的课题并不局限于在高硅钢板制造用CVD处理设备的排气处理生产线设置的气体冷却器，在具有由在冷却室内并列的多个直管式的冷却管构成的管组，并具有去除附着于这些管组的粉尘的功能的气体冷却器中是普遍的课题。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而完成的，目的在于提供一种气体冷却器，其能够实现除尘装置的小型化、轻型化，并且防止排气向外部泄漏，同时能够稳定地去除附着于冷却管的粉尘。

(1)本发明所涉及的气体冷却器具有：水冷管组，其配置于供气体流通的冷却室内；除尘部件，其能够往复移动地设置在水冷管组的各冷却管的周面；往复移动机构，其能够使该除尘部件沿上述冷却管的轴向往复移动，

上述往复移动机构具备：

保持部件，其将上述除尘部件保持为能够沿上述冷却管的轴向往复移动，并且沿与上述冷却管的轴向交叉的方向伸出；

开口部，其设置于上述冷却室的侧壁，能够使上述保持部件从上述冷却室侧伸出并沿上述冷却管的轴向往复移动；

密封机构，其设置于该开口部，防止上述冷却室内的气体泄漏到外部；

移动体，其设置于上述冷却室的外部，支承从上述开口部伸出的上述保持部件，并且能够沿与上述冷却管的轴向平行的方向往复移动；

驱动机构，其使该移动体沿与上述冷却管的轴向平行的方向往复移动。

(2)另外，在上述(1)所记载的装置中，在上述冷却室的外侧部具有小室，该小室具有围绕上述开口部而形成封闭空间的周壁，在该小室填充有用于将内部保持为冷却室内压以上的惰性气体，

上述移动体设置于上述小室内。