[发明专利]光学镜、X射线荧光分析装置以及X射线荧光分析方法

权利要求书

1.一种用于X射线荧光分析装置的光学镜，其中，所述X射线荧光分析装置具有X射线源(10)，用来利用X射束(19)辐照试样(15)；X射线探测器(17)，用于测量由所述试样发出的X射线荧光辐射(16)；以及摄像机(25)，用于经由所述光学镜(20)产生试样(15)的被辐照的测量位置(29)的光学控制图像(26)，所述光学镜在所述X射线源(10)的射束路径中成角度地布置，所述光学镜包括载体(21)，在所述载体(21)上设置有镜层(28)，

其特征在于

所述光学镜(20)具有用于X射束(19)的通窗(23)，其中所述通窗由所述载体(21)中的凹口(23)以及在所述载体(21)的外侧上覆盖所述凹口(23)的膜(22)形成，所述膜形成所述镜层(28)。

2.根据权利要求1所述的光学镜，其特征在于，所述膜(22)由塑料制成、优选由聚对苯二甲酸乙二酯制成。

3.根据权利要求1或2所述的光学镜，其特征在于，所述膜(22)被金属化。

4.根据权利要求3所述的光学镜，其特征在于，所述膜(22)具有由铝制成的涂层。

5.根据前述权利要求任一所述的光学镜，其特征在于，所述膜(22)具有范围在几微米内的厚度。

6.根据前述权利要求任一所述的光学镜，其特征在于，所述载体(21)具有平坦的基体，所述基体优选由玻璃制成，所述基体在所述通窗(23)的区域内具有凹口、优选圆孔。

7.根据前述权利要求任一所述的光学镜，其特征在于，所述膜(22)被粘接至所述载体(21)并且以无张力的方式覆盖所述载体(21)的凹口(23)。

8.根据权利要求1至5任一所述的光学镜，其特征在于，所述载体(21)具有框架，镜面化的膜(22)被铺设到所述框架上或附到所述框架上。

9.一种X射线荧光分析装置，其包括X射线源(10)，用来利用X射束(19)辐照试样(15)；X射线探测器(17)，用于测量由所述试样发出的X射线荧光辐射(16)；以及摄像机(25)，用于经由光学镜(20)产生试样(15)的被辐照的位置的光学控制图像(26)，所述光学镜在所述X射线源(10)的射束路径中成角度地布置，所述光学镜包括载体(21)，在所述载体(21)上设置有镜层(28)，其特征在于，所述光学镜(20)是根据权利要求1至8任一所述形成的光学镜。

10.根据权利要求9所述的X射线荧光分析装置，其特征在于，所述摄像机(25)被实施为内窥镜、优选被实施为视频内窥镜。

11.根据权利要求9所述的X射线荧光分析装置，其特征在于，单毛细管镜片或多毛细管镜片布置在所述光学镜(20)之前。

12.一种用于对试样进行X射线荧光分析的方法，尤其是用于确定薄层的厚度，其中，所述试样(15)利用来自X射线源(10)的复色X射束(19)被辐照，由所述试样(15)发出的X射线荧光辐射(16)利用X射线探测器(17)被测量，所述试样(15)的测量位置(29)的光学控制图像(26)利用摄像机(25)经由光学镜(20)产生，所述光学镜在所述X射线源(10)的射束路径中成角度地布置，所述光学镜包括载体(21)，在所述载体(21)上设置有镜层(28)，其特征在于，

其特征在于

所述光学镜(20)具有用于X射束(19)的通窗(23)，其中所述通窗由在所述载体(21)的外侧上形成所述镜层(28)的膜(22)覆盖，所述膜(22)在所述光学镜(20)的载体(21)的凹口(23)的区域内由X射束(13)穿透，并且，光学图像由所述试样(15)在所述膜(22)上的测量位置(29)所反映，且所述光学图像通过所述摄像机(25)被检测。