[发明专利]溅射装置

权利要求书

1.一种磁控管组件，其包括：

刚性支撑结构；

磁棒结构，所述磁棒结构可移动地附接到所述刚性支撑结构；

至少一个致动机构，所述至少一个致动机构耦接到所述刚性支撑结构并被配置以改变所述磁棒结构与可旋转靶筒的表面的距离；

通信设备，所述通信设备被配置以从所述磁控管组件的外部接收命令信号并将信息信号传输到所述磁控管组件的外部；和

电源，所述电源被配置以提供能量给致动机构，所述电源完全自包含在磁控管组件的体积内。

2.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括弹簧加载的气动结构或弹簧加载的液压结构。

3.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括旋转缆线或推/拉缆线。

4.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括机动结构，所述机动结构包括伺服马达、步进马达，或压电马达。

5.如权利要求1所述的磁控管组件，还包括位置指示机构，所述位置指示机构可操作以测量所述磁棒结构相对于所述可旋转靶筒的所述表面的位置。

6.如权利要求5所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构包括霍尔探针和磁铁。

7.如权利要求5所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构包括直接传输数据到操作者而无需额外处理的数字指示器。

8.如权利要求5所述的磁控管组件，其中所述位置指示机构包括来自直接与所述致动机构耦接的反馈。

9.如权利要求1所述的磁控管组件，其还包括电子控制器，所述电子控制器与所述致动机构可操作通信。

10.如权利要求9所述的磁控管组件，其中所述电源包括电池电源，所述电池电源被配置以激励所述致动机构和所述电子控制器。

11.如权利要求9所述的磁控管组件，其中所述通信设备包括收发器，所述收发器可操作地耦接到所述电子控制器。

12.如权利要求11所述的磁控管组件，其中所述收发器包括射频收发器、光收发器，或超声波收发器。

13.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括：

用于霍尔探针的传感器端口；

气动致动端口，所述气动致动端口被配置以接收压缩气体；

波纹管，所述波纹管与所述气动致动端口连通；

控制轴，所述控制轴耦接到所述波纹管和所述磁棒结构；

回位弹簧，所述回位弹簧耦接到所述控制轴；和

磁铁，所述磁铁在所述控制轴中以用于霍尔探针反馈。

14.如权利要求1所述的磁控管组件，其中所述致动机构包括：

步进马达；

锥齿轮，所述锥齿轮可操作地耦接到所述步进马达；

螺纹外壳，所述螺纹外壳与所述锥齿轮配合；和

螺纹柱，所述螺纹柱耦接于所述磁棒结构和所述螺纹外壳之间。