[发明专利]用于衬底漂洗和干燥的方法

权利要求书

1.一种用于衬底漂洗和干燥的方法，包括：

将所述衬底装入漂洗组件，所述衬底被水平安装在所述漂洗组件内的可转动的旋转卡盘上；

开启从分配喷嘴到所述衬底上的第一漂洗液体流；

在从所述衬底的中心朝向所述衬底的边缘的分配喷嘴路径上水平移动所述分配喷嘴；

开启来自最初位于紧邻所述衬底的中心的第一吹扫气体喷嘴的第二吹扫气体流，以在所述衬底上建立分配的漂洗液体的弯月面；

朝向所述衬底的边缘水平移动所述第一吹扫气体喷嘴，以便朝向所述衬底的边缘径向移置所述弯月面和所分配的漂洗液体，

其中，移动所述第一吹扫气体喷嘴包括：

保持所述第一吹扫气体喷嘴相对于所述分配喷嘴和所述弯月面的最优位置，以便防止在所述第一吹扫气体喷嘴的移动过程中破坏所述弯月面或防止破坏来自所述分配喷嘴的所述第一漂洗液体流，或防止以上两者；

其中，保持所述第一吹扫气体喷嘴的最优位置的步骤包括在将所述分配喷嘴和所述第一吹扫气体喷嘴朝向所述衬底的边缘移动期间改变所述第一吹扫气体喷嘴相对于所述分配喷嘴和所述弯月面的位置，使得在未破坏所述弯月面并且未破坏来自所述分配喷嘴的所述第一漂洗液体流的情况下横穿衬底同时最大化所述漂洗液体与所述衬底之间的剪切应力以及在所述衬底上方的空气通量。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述漂洗液体包括去离子水。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，吹扫气体包括氮气。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述分配喷嘴和所述第一吹扫气体喷嘴两者均被保持从所述衬底的中心沿向外延伸的径向线对齐。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述分配喷嘴和所述第一吹扫气体喷嘴两者均被保持分别沿从所述衬底的中心向外延伸的两条构成直径上相反的径向线对齐。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述分配喷嘴与所述第一吹扫气体喷嘴相对于彼此方位地移置。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述分配喷嘴和所述第一吹扫气体喷嘴安装在第一扫描臂上。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一扫描臂还包括：

用于改变所述第一吹扫气体喷嘴相对于所述分配喷嘴的位置的装置。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述分配喷嘴安装在第一扫描臂上，并且所述第一吹扫气体喷嘴安装在与所述第一扫描臂不同的第二扫描臂上。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，保持所述第一吹扫气体喷嘴的最优位置的步骤包括保持所述第一吹扫气体喷嘴在所述衬底上方的最优高度。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一吹扫气体喷嘴的位置通过模拟或试验或者模拟和试验两者来确定。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述弯月面的半径通过查找弯月面位置库或根据弯月面位置库插值来确定，其中，所述弯月面位置库通过试验确定所述弯月面的位置来形成。

13.根据权利要求1所述的方法，还包括：

开启来自第二吹扫气体喷嘴的第三吹扫气体流；

朝向所述衬底的边缘水平移动所述第二吹扫气体喷嘴，

其中，移动所述第二吹扫气体喷嘴包括：

保持所述第二吹扫气体喷嘴相对于所述分配喷嘴和所述弯月面的最优位置，以便防止在所述第二吹扫气体喷嘴朝向所述衬底的边缘的移动过程中破坏所述弯月面或防止破坏来自所述分配喷嘴的所述第一漂洗液体流，或防止以上两者。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第一吹扫气体喷嘴和所述第二吹扫气体喷嘴两者均被保持分别沿从所述衬底的中心向外延伸的两条构成直径上相反的径向线对齐。

15.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第一吹扫气体喷嘴与所述第二吹扫气体喷嘴相对于彼此方位地移置。

16.根据权利要求13所述的方法，其中，所述分配喷嘴和所述第一吹扫气体喷嘴安装在第一扫描臂上，并且所述第二吹扫气体喷嘴安装在与所述第一扫描臂不同的第二扫描臂上。

17.根据权利要求13所述的方法，其中，保持所述第二吹扫气体喷嘴的最优位置的步骤包括保持所述第二吹扫气体喷嘴在所述衬底上方的最优高度。