[发明专利]金属-陶瓷板层压体的制造装置及制造方法、功率模块用基板的制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种金属-陶瓷板层压体的制造装置，其特征在于，所述金属-陶瓷板层压体中，接合材料层形成于陶瓷板或金属板中的任意一板上，并且在这些陶瓷板与金属板中的任意一个板上预先涂布并固化以聚乙二醇作为主成分的临时固定材料而使所述临时固定材料附着在所述一个板上，通过所述临时固定材料并经由所述接合材料层以重叠的状态临时固定所述陶瓷板与所述金属板，从而层压所述陶瓷板与所述金属板，所述金属-陶瓷板层压体的制造装置具备：

输送构件，将所述一个板输送至所述陶瓷板与所述金属板中的任意另一个板上来层压所述陶瓷板与所述金属板；

加热构件，设置在所述输送构件输送所述一个板的输送路径的中途，并熔融固化在该一个板上的临时固定材料；及

冷却构件，在经由熔融状态的所述临时固定材料而层压所述陶瓷板与所述金属板之后的状态下，通过冷却并固化所述临时固定材料而临时固定所述陶瓷板与所述金属板，

所述加热构件设置有加热器，所述输送构件通过使固化在所述一个板上的所述临时固定材料在所述输送路径的中途对置于所述加热器，从而使该临时固定材料熔融。

2.根据权利要求1所述的金属-陶瓷板层压体的制造装置，其特征在于，

具备测定所述临时固定材料或所述一个板的温度的测温构件。

3.根据权利要求2所述的金属-陶瓷板层压体的制造装置，其特征在于，

所述测温构件设置于所述输送构件上。

4.一种功率模块用基板的制造装置，其特征在于，所述功率模块用基板中，接合材料层形成于陶瓷板或金属板中的任意一板上，并且在这些陶瓷板与金属板中的任意一个板上预先涂布并固化以聚乙二醇作为主成分的临时固定材料而使所述临时固定材料附着在所述一个板上，通过所述临时固定材料并经由所述接合材料层以重叠的状态临时固定所述陶瓷板与所述金属板，从而接合所述陶瓷板与所述金属板，所述功率模块用基板的制造装置具备：

输送构件，将所述一个板输送至所述陶瓷板与所述金属板中的任意另一个板上来层压所述陶瓷板与所述金属板；

接合构件，通过将该层压体向层压方向加压并进行加热，从而接合所述陶瓷板与所述金属板；

加热构件，设置在所述输送构件输送所述一个板的输送路径的中途，并熔融固化在该一个板上的临时固定材料；及

冷却构件，在经由熔融状态的所述临时固定材料而层压所述陶瓷板与所述金属板之后的状态下，通过冷却并固化所述临时固定材料而临时固定所述陶瓷板与所述金属板，

所述加热构件设置有加热器，所述输送构件通过使固化在所述一个板上的所述临时固定材料在所述输送路径的中途对置于所述加热器，从而使该临时固定材料熔融。

5.根据权利要求4所述的功率模块用基板的制造装置，其特征在于，

具备测定所述临时固定材料或所述一个板的温度的测温构件。

6.根据权利要求5所述的功率模块用基板的制造装置，其特征在于，

所述测温构件设置于所述输送构件上。

7.一种金属-陶瓷板层压体的制造方法，其特征在于，所述金属-陶瓷板层压体中，接合材料层形成于陶瓷板或金属板中的任意一板上，并且在这些陶瓷板与金属板中的任意一个板上形成并固化有以聚乙二醇作为主成分的临时固定材料，通过所述临时固定材料并经由所述接合材料层以重叠的状态临时固定所述陶瓷板与所述金属板，从而层压所述陶瓷板与所述金属板，所述金属-陶瓷板层压体的制造方法具有：

层压工序，将所述一个板输送至所述陶瓷板与所述金属板中的任意另一个板上，来层压所述陶瓷板与所述金属板，

所述层压工序中，在输送所述一个板的中途通过使该一个板对置于加热器而使所述临时固定材料熔融，将所述陶瓷板与所述金属板层压之后，经冷却而使所述临时固定材料固化，由此临时固定所述陶瓷板与所述金属板。

8.根据权利要求7所述的金属-陶瓷板层压体的制造方法，其特征在于，

所述层压工序中，在输送过程中测定所述临时固定材料或所述一个板的温度。

9.一种功率模块用基板的制造方法，其特征在于，

将通过权利要求7或8所述的金属-陶瓷板层压体的制造方法得到的金属-陶瓷板层压体向层压方向加压并进行加热，从而接合所述陶瓷板与所述金属板。