[发明专利]虚拟RF传感器

权利要求书

1.一种射频RF产生系统，包括：

阻抗确定模块，接收RF电压和RF电流，并基于所述RF电压和所述RF电流确定RF产生器阻抗；

控制模块，基于所述RF产生器阻抗确定多个电气值；

匹配模块，所述匹配模块：

基于所述RF产生器阻抗和所述多个电气值来匹配负载的阻抗；并且

基于所述多个电气值来确定二端口传递函数；以及

虚拟传感器模块，基于所述RF电压、所述RF电流、所述RF产生器阻抗和所述二端口传递函数来估计负载电压、负载电流和负载阻抗。

2.如权利要求1所述的RF产生系统，其中所述RF产生器阻抗被匹配到预定值。

3.如权利要求1所述的RF产生系统，其中所述匹配模块基于所述多个电气值选择性地调节多个电气部件，并且其中所述多个电气部件包括电容值、电感值和电阻值，其中所述电容值、所述电感值和所述电阻值由ABCD矩阵表示。

4.如权利要求1所述的RF产生系统，其中所述虚拟传感器模块基于所述RF电压、所述RF电流、所述RF产生器阻抗和所述二端口传递函数之间的数学关系来估计所述负载电压和所述负载电流。

5.如权利要求3所述的RF产生系统，其中所述多个电气部件包括多个电容器、多个电感器和多个电阻器。

6.如权利要求1所述的RF产生系统，还包括测量所述RF电压和所述RF电流的传感器模块。

7.如权利要求1所述的RF产生系统，其中所述阻抗确定模块基于所述RF电压与所述RF电流之比来确定所述RF产生器阻抗。

8.如权利要求1所述的RF产生系统，其中所述虚拟传感器模块确定所述多个电气值中的每个的ABCD矩阵并基于所述多个电气值中的每个的所述ABCD矩阵中的每个来确定总ABCD矩阵。

9.如权利要求8所述的RF产生系统，其中所述虚拟传感器模块基于所述总ABCD矩阵的逆、所述RF电压和所述RF电流之间的关系来估计所述负载电压和所述负载电流。

10.如权利要求1所述的RF产生系统，其中所述二端口传递函数是预定值。

11.一种射频RF产生方法，包括：

接收RF电压和RF电流；

基于所述RF电压和所述RF电流确定RF产生器阻抗；

基于所述RF产生器阻抗来确定多个电气值；

基于所述多个电气值来选择性地调节多个电气部件；

基于所述RF产生器阻抗和所述电气部件来匹配负载的阻抗；

基于所述多个电气值来确定二端口传递函数；以及

基于所述RF电压、所述RF电流、所述RF产生器阻抗和所述二端口传递函数来估计负载电压、负载电流和负载阻抗。

12.如权利要求11所述的RF产生方法，其中所述RF产生器阻抗被匹配到预定值。

13.如权利要求11所述的RF产生方法，其中所述多个电气部件包括电容值、电感值和电阻值，并且其中所述电容值、所述电感值和所述电阻值由ABCD矩阵表示。

14.如权利要求11所述的RF产生方法，还包括基于所述RF电压、所述RF电流、所述RF产生器阻抗和所述二端口传递函数之间的数学关系来估计所述负载电压和所述负载电流。

15.如权利要求11所述的RF产生方法，其中所述多个电气部件包括多个电容器、多个电感器和多个电阻器。

16.如权利要求11所述的RF产生方法，还包括测量所述RF电压和所述RF电流。

17.如权利要求11所述的RF产生方法，还包括基于所述RF电压与所述RF电流之比来确定所述RF产生器阻抗。

18.如权利要求11所述的RF产生方法，还包括确定所述多个电气值中的每个的ABCD矩阵并基于所述多个电气值中的每个的所述ABCD矩阵中的每个来确定总ABCD矩阵。

19.如权利要求18所述的RF产生方法，还包括基于所述总ABCD矩阵的逆、所述RF电压和所述RF电流之间的关系来估计所述负载电压和所述负载电流。

20.如权利要求11所述的RF产生方法，其中所述二端口传递函数是预定值。