[发明专利]改性酚醛清漆型酚醛树脂、抗蚀材料、涂膜和抗蚀永久膜

权利要求书

1.一种改性酚醛清漆型酚醛树脂，其特征在于，具有：下述结构式(1)所示的芳香族化合物(A)与醛化合物(B)进行缩合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)所具有的酚性羟基的氢原子的一部分或全部被酸离解性基团取代的分子结构，

式中，Ar为下述结构式(2-1)或(2-2)所示的结构部位，

R¹、R²分别为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m、n分别为1～4的整数，

式中，k为0～2的整数，p为1～5的整数，q为1～7的整数，R³为氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，

其中，所述酸离解性基团为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中任意者。

2.根据权利要求1所述的改性酚醛清漆型酚醛树脂，其中，所述酸离解性基团为烷氧基烷基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基中任意者。

3.根据权利要求1所述的改性酚醛清漆型酚醛树脂，其中，树脂中的酚性羟基(α)与酸离解性基团(β)的存在比率[(α)/(β)]为95/5～10/90的范围。

4.根据权利要求1所述的改性酚醛清漆型酚醛树脂，其中，所述改性酚醛清漆型酚醛树脂如下得到：在芳香核上具有烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意取代基的酚化合物(a1)与芳香族醛(a2)反应而得到芳香族化合物(A)，所得到的芳香族化合物(A)与醛化合物(B)进行缩合反应，该缩合反应得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)与下述结构式(3-1)～(3-8)中任意者所示的化合物反应，从而得到所述改性酚醛清漆型酚醛树脂，

式中，X表示卤素原子，Y表示卤素原子或三氟甲磺酰基，R⁴～R⁸分别独立地表示碳原子数1～6的烷基或苯基，另外，n为1或2。

5.一种改性酚醛清漆型酚醛树脂的制造方法，其中，在芳香核上具有烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意取代基的酚化合物(a1)与芳香族醛(a2)反应而得到芳香族化合物(A)，所得到的芳香族化合物(A)与醛化合物(B)进行缩合反应，该缩合反应得到的酚醛清漆型酚醛树脂(C)与下述结构式(3-1)～(3-8)中任意者所示的化合物反应，

式中，X表示卤素原子，Y表示卤素原子或三氟甲磺酰基，R⁴～R⁸分别独立地表示碳原子数1～6的烷基或苯基，另外，n为1或2。

6.一种感光性组合物，其含有权利要求1～4中任一项所述的改性酚醛清漆型酚醛树脂和光产酸剂。

7.一种抗蚀材料，其包含权利要求6所述的感光性组合物。

8.一种涂膜，其包含权利要求6所述的感光性组合物。

9.一种抗蚀永久膜，其包含权利要求7所述的抗蚀材料。