[发明专利]用于激光束的波长耦合的方法

权利要求书

1.用于具有不同波长(λ₁，...，λ_n)的激光束(2a，...，2n)的波长耦合的装置(1)，该装置包括：

至少一个激光源(3)，用于产生多个激光束(2a，...，2n)；以及

叠加机构(7)，用于使所述多个激光束(2a，...，2n)在空间上叠加以形成具有多个波长(λ₁，...，λ_n)的叠加激光束(8)，

该装置还包括：布置在叠加激光束(8)的光路中用于将叠加激光束(8)的一照射分量反馈回到激光源(3)的反馈机构(12)，其中，所述反馈机构构造为具有部分反射叠加激光束(8)的表面(12a)的耦出元件(12)，

其特征在于，该装置还包括用于反射回到激光源(3)的照射分量的相位校正的相位校正机构(12、15)，其中，所述耦出元件(12)的部分反射的表面(12a)具有曲率。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，叠加机构构造为衍射栅(7)，该衍射栅绕旋转轴线(19)可旋转支承，以改变待叠加的激光束(2a，...，2n)的波长(λ₁，...，λ_n)。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，在激光源(3)与反馈机构(12)之间的光路中、优选在叠加机构(7)与反馈机构(12)之间的光路中，布置有偏振滤波器(16)。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，偏振滤波器(16)和叠加机构(7)或者偏振滤波器(16)和反馈机构(12)构造为共同的光学元件。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其中，相位校正机构的相位校正元件和反馈机构构造为共同的光学元件(12)。

6.根据权利要求1或2所述的装置，其中，耦出元件(12)构造得用于耦出的叠加激光束(8a)的光束成形。

7.根据权利要求1或2所述的装置，其中，相位校正机构具有用于将叠加激光束(8)向耦出元件(12)的部分反射的、平的表面(12a)上准直的成像光学元件(15)，其中，成像光学元件(15)的曲率半径(R_K)匹配于叠加激光束(8)的相位曲率的半径(R_P)。

8.根据权利要求1或2所述的装置，其中，叠加机构(7)和反馈机构、特别是耦出元件(12)构造为共同的光学元件(17)。

9.根据权利要求1或2所述的装置，还包括：布置在激光源(3)与叠加机构(7)之间的光路中的第一成像光学元件(13a)，该第一成像光学元件与布置在激光源(3)与叠加机构(7)之间的光路中的第二成像光学元件(13b)形成光束望远装置(13a、13b)。

10.根据权利要求1或2所述的装置，还包括：布置在激光源(3)与叠加机构(7)之间的光路中的成像光学元件(5)，该成像光学元件与布置在叠加激光束(8)的光路中的成像光学元件(13)共同形成光束望远装置(5、13)。

11.根据权利要求1或2所述的装置，还包括：光束偏转机构(20)，用于将待叠加的激光束(2a，...，2n)定向到叠加机构(7)或反馈机构(6)的共同叠加区域(7a)上。

12.根据权利要求11所述的装置，其中，光束偏转机构具有至少一个角形小平面元件(20)，该角形小平面元件包括多个角形小平面(20a)用于各将对应的激光束(2a，...，2n)定向到共同叠加区域(7a)上。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，光束偏转机构具有多个偏转镜(22a，...，22n)，用于将激光束(2a，...，2n)定向到共同叠加区域(7a)上。