[发明专利]使用磁性材料在加速计上的磁强计

权利要求书

1.一种MEMS装置，其特征在于，包括：

第一质量块，其响应于沿着第一轴的环境加速度而在第一方向上移动并且响应于沿着第二轴的环境磁场而绕着第二方向旋转；

第一磁化磁性材料，其部分安置在所述第一质量块的表面上；

第一弹簧，其锚定至衬底以支撑所述第一质量块；

第一感测元件，其耦合到所述第一质量块并且对在所述第一方向上的所述第一质量块的运动作出响应与对绕着所述第二方向的所述第一质量块的旋转运动作出响应；

第二感测元件，其耦合至所述第一质量块并且对在所述第一方向上的所述第一质量块的运动作出响应且对绕着所述第二方向的所述第一质量块的旋转作出响应；以及

信号处理器，其耦合到所述第一感测元件和所述第二感测元件并且可操作以产生对沿着所述第二轴的所述环境磁场作出响应的第一输出。

2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述信号处理器可操作以产生对沿着所述第一轴的所述环境加速度作出响应的第二输出。

3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测元件是第一可变电容器并且所述第二感测元件是第二可变电容器。

4.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测元件和所述第二感测元件是差分可变电容器。

5.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，包括第二弹簧以及第二质量块，其中所述第二弹簧锚定至所述衬底以支撑所述第二质量块。

6.根据权利要求5所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测元件和所述第二感测元件耦合到所述第二质量块。

7.根据权利要求6所述的MEMS装置，其特征在于，所述第二质量块响应于沿着所述第二轴的环境加速度而在第三方向上移动，并且所述第二质量块响应于沿着所述第二轴的所述环境磁场而在第四方向上移动。

8.根据权利要求6所述的MEMS装置，其特征在于，磁化磁性材料沉积在所述第二质量块上，使得所磁化的所述第二质量块对沿着所述第一轴的所述环境加速度和沿着所述第二轴的所述环境磁场两者作出响应。

9.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一质量块的旋转中心与所述第一质量块的质量中心不对准。

10.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一质量块的旋转中心由于制造缺陷而与所述第一质量块的质量中心不对准。

11.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测元件和所述第二感测元件对所述第一质量块的平面外的运动作出响应。

12.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测元件和所述第二感测元件对所述第一质量块的平面中的运动作出响应。

13.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测元件对所述第一质量块的平面外的运动作出响应，并且所述第二感测元件对所述第一质量块的平面中的运动作出响应。

14.根据权利要求2所述的MEMS装置，其特征在于，包括第三感测元件，其中所述第三感测元件耦合到所述第一质量块并且对在第三方向上的所述第一质量块的运动作出响应。

15.根据权利要求14所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一质量块响应于沿着第三轴的加速度而沿着所述第三方向移动，并且所述第三感测元件被进一步耦合至所述信号处理器并且可操作以产生对沿着所述第三轴的加速度作出响应的第三输出。