[发明专利]音叉型压电振动片及音叉型压电振子有效
申请号: | 201480015932.1 | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN105191124B | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 阪本和靖;石野悟;藤井智 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03H9/215 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 吴大建,刘华联 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 音叉 压电 振动 | ||
1.一种音叉型压电振动片,其压电振动板原板具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部,其中,将所述腿部的突出方向作为长度方向,并将所述腿部的并排方向作为宽度方向,其特征在于,
所述一对腿部具有:具有沿着长度方向形成的槽部和激励电极的振动部;一体形成在该振动部的前端一侧,且具有比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽的部分的锤部;所述振动部与所述锤部之间的连接部,
所述振动部的激励电极的构成为:含有形成在所述槽部的内面的内面电极和与该内面电极在宽度方向上相对的形成在所述腿部的侧面的侧面电极,
所述连接部具有从所述振动部朝向所述锤部,以指数函数增大其宽度方向上的尺寸的增幅部,所述增幅部被形成为长度方向上的尺寸比宽度方向上的尺寸长,
所述锤部具有从与所述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分,并且所述锤部不形成激励电极;
所述槽部仅形成于所述振动部,在所述槽部的内面的整体上形成所述激励电极。
2.一种音叉型压电振动片,其压电振动板原板具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部,其中,将所述腿部的突出方向作为长度方向,并将所述腿部的并排方向作为宽度方向,其特征在于,
所述一对腿部具有:具有沿着长度方向形成的槽部和激励电极的振动部;一体形成在该振动部的前端一侧,且具有比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽的部分的锤部;所述振动部与所述锤部之间的连接部,
所述振动部的激励电极的构成为:含有形成在所述槽部的内面的内面电极和与该内面电极在宽度方向上相对的形成在所述腿部的侧面的侧面电极,
所述连接部具有从所述振动部朝向所述锤部增大其宽度方向上的尺寸的增幅部,
所述增幅部的主面上的形状由曲率半径不小于所述增幅部在宽度方向上的尺寸的圆的圆周一部分形成,或者由在长度方向上具有长轴的椭圆的圆周一部分形成,
所述锤部具有从与所述连接部的连结位置起宽度方向上的尺寸为固定的等宽部分,并且所述锤部不形成激励电极;
所述槽部仅形成于所述振动部,在所述槽部的内面的整体上形成所述激励电极。
3.根据权利要求1或2所述的音叉型压电振动片,其特征在于,在锤部并未形成有激励电极,仅形成有引出电极。
4.根据权利要求1或2所述的音叉型压电振动片,其特征在于,
所述槽部的长度/所述腿部的长度设置为55%以上65%以下。
5.根据权利要求1或2所述的音叉型压电振动片,其特征在于,
在所述连接部上,具有沿着长度方向形成的第二槽部,
在所述振动部的槽部与所述连接部的第二槽部之间,夹有不形成所述槽部和第二槽部的桥部,并且仅在所述槽部上形成激励电极。
6.根据权利要求4所述的音叉型压电振动片,其特征在于,
在所述连接部上,具有沿着长度方向形成的第二槽部,
在所述振动部的槽部与所述连接部的第二槽部之间,夹有不形成所述槽部和第二槽部的桥部,并且仅在所述槽部上形成激励电极。
7.一种音叉型压电振动片,其压电振动板原板具有基部和从该基部的一端面突出的并排的一对腿部,其中,将所述腿部的突出方向作为长度方向,并将所述腿部的并排方向作为宽度方向,其特征在于,
所述一对腿部具有:具有沿着长度方向形成的第一槽部和激励电极的振动部;一体形成在该振动部的前端一侧,且具有比所述振动部在宽度方向上的尺寸更宽的部分的锤部;所述振动部与所述锤部之间的连接部,
仅形成在所述振动部上的激励电极的构成为:含有形成在所述第一槽部的内面的内面电极和与该内面电极在宽度方向上相对的形成在所述腿部的侧面的侧面电极,
在所述连接部上具有沿着长度方向形成的第二槽部,
在所述振动部的第一槽部与所述连接部的第二槽部之间,夹有不形成所述第一槽部和第二槽部的桥部,
所述桥部位于所述振动部上。
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