[发明专利]用于测量周围介质压力的电容式压力测量元件有效
| 申请号： | 201480016620.2 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN105074407B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·费伦巴赫;约恩·雅各布 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/00;G01L19/04 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 胡艳 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 测量电极 电容式压力 电阻元件 周围介质 测量膜 对电极 压力测量元件 弹性测量膜 温敏电阻 电阻层 电容 背对 | ||
1.用于测量周围介质压力的电容式压力测量元件(1)，包括：
弹性测量膜片(2)，其第一侧(2a)与介质至少部分接触，而其背对介质的第二侧(2b)包括测量电极(7)和用来测量温度的由具有温敏电阻的材料制成的电阻元件；以及
基体(3)，其设置成与所述测量膜片(2)的第二侧(2b)相对，具有对电极(8)，所述对电极(8)与所述测量电极(7)构成测量电容，
其特征在于所述电阻元件形成为所述测量膜片(2)第二侧(2b)和所述测量电极(7)之间的电阻层(4)，其中所述电阻层与所述测量电极通过绝缘层彼此分开，所述测量膜片(2)和所述基体(3)在边缘处通过间隔件(3a)分开并且相互连接，所述电阻层(4)的连接引线(4a、4b)在边缘处经过所述间隔件(3a)和所述基体(3)延展到电子单元，并且所述测量电极(7)的直径被设计成小于所述电阻层(4)的直径，所述测量电极(7)和所述电阻层(4)两者都突出进入到所述间隔件(3a)的区域。
2.用于测量周围介质压力的电容式压力测量元件(1)，包括：
弹性测量膜片(2)，其第一侧(2a)与介质至少部分接触，而其背对介质的第二侧(2b)包括测量电极(7)和用来测量温度的由具有温敏电阻的材料制成的电阻元件；以及
基体(3)，其设置成与所述测量膜片(2)的第二侧(2b)相对，具有对电极(8)，所述对电极(8)与所述测量电极(7)构成测量电容，
其特征在于所述电阻元件形成为所述测量膜片(2)第二侧(2b)和所述测量电极(7)之间的电阻层(4)，其中所述电阻层与所述测量电极通过绝缘层彼此分开，所述测量膜片(2)和所述基体(3)在边缘处通过间隔件(3a)分开并且相互连接，所述电阻层(4)的连接引线(4a、4b)在边缘处经过所述间隔件(3a)和所述基体(3)延展到电子单元，并且所述电阻层(4)和所述测量电极(7)设计成两者基本全等，所述测量电极(7)和所述电阻层(4)两者都突出进入到所述间隔件(3a)的区域。
3.如权利要求1或2所述的压力测量元件(1)，其特征在于所述电阻层(4)被结构化。
4.如权利要求3所述的压力测量元件(1)，其特征在于所述电阻层(4)结构化为具有蜿蜒的形状。
5.如权利要求1或2所述的压力测量元件(1)，其特征在于所述测量膜片(2)和/或所述基体(3)由陶瓷材料制成。
6.具有任一前述权利要求所述压力测量元件(1)的压力变送器。
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