[发明专利]一种高纯钽粉及其制备方法

权利要求书

1.一种高纯冶金级钽粉，GDMS分析纯度大于99.995％，其中该钽粉的氧含量不高于1000ppm，镁含量不高于5ppm，且该钽粉的粒径D50<25μm,该高纯冶金级钽粉通过依次包括如下步骤的方法制成：

1)将高纯钽锭进行氢化处理；

2)将钽锭氢化后所得的钽屑进行破碎，然后对其进行酸洗纯化处理，以除去球磨过程带入的杂质污染；

3)对上一步骤得到钽粉末通过如下方式进行高温脱氢处理：将钽粉在800-1000℃下保温60-300分钟，然后进行降温、出炉、过筛得到脱氢的钽粉；

4)对上一步骤得到的钽粉末进行脱氧处理，其中脱氧处理的温度低于脱氢温度，其中脱氧处理的温度比脱氢温度低50-300℃；

5)将上一步骤得到的钽粉末进行酸洗、水洗、烘干、过筛；

6)将上一步骤得到的钽粉末进行低温热处理，然后进行降温、钝化、出炉、过筛得到成品钽粉，其中所述的低温热处理通过在600-1200℃保温15-90分钟进行。

2.如权利要求1所述高纯冶金级钽粉，其中该钽粉氮含量不高于50ppm；氢含量不高于20ppm。

3.如权利要求2所述高纯冶金级钽粉，其中该钽粉氮含量不高于40ppm。

4.如权利要求2或3所述高纯冶金级钽粉，其中氢含量不高于15ppm。

5.如权利要求4所述高纯冶金级钽粉，其中氢含量不高于10ppm。

6.如权利要求1或2或3或5所述高纯冶金级钽粉，其中该钽粉的粒径D50＜20μm。

7.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中高纯钽锭是指钽含量达到99.995％以上的钽锭。

8.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中通过如下方式进行高温脱氢：将钽粉在800-900℃下保温60-300分钟。

9.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中通过如下方式进行高温脱氢：将钽粉在900-1000℃下保温60-300分钟。

10.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中通过如下方式进行高温脱氢：将钽粉在800-950℃下保温60-300分钟。

11.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中通过如下方式进行高温脱氢：将钽粉在800-980℃下保温60-300分钟。

12.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中通过如下方式进行高温脱氢：将钽粉在880-1000℃下保温60-300分钟。

13.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温60-120分钟。

14.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温60-150分钟。

15.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温60-200分钟。

16.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温60-240分钟。

17.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温120-300分钟。

18.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温150-300分钟。

19.如权利要求1或2或3或5中任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温200-300分钟。

20.如权利要求1或2或3或5任一项所述的高纯冶金级钽粉，其中在高温脱氢过程中将钽粉保温240-300分钟。

21.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中脱氧处理的温度比脱氢温度低100-300℃。

22.如权利要求1或2或3或5所述的高纯冶金级钽粉，其中脱氧处理的温度比脱氢温度低150-300℃。