[发明专利]消泡剂、表面活性剂组合物、涂层组合物和抗蚀剂组合物

说明书

技术领域

本发明涉及不会对氟系表面活性剂、半导体的抗蚀液等所使用的流平剂的表面平滑性带来恶劣影响且能够极大地改善其消泡性的消泡剂。还涉及包含该消泡剂的表面活性剂组合物、涂层组合物及抗蚀剂组合物。

背景技术

包含氟系聚合物的氟系表面活性剂由于其表面张力降低能力而能够作为涂料、树脂等的流平剂而使用。另一方面，氟系表面活性剂总的来说具有如下缺点：起泡性显著地高，另外形成的泡沫难以消灭。作为水性系中通常用于降低起泡的方法，已知有添加有机硅系等水性系消泡剂的方法。然而，这些水性系消泡剂存在如下问题：在溶解性大的有机溶剂系中其效果极小。另外，关于有机溶剂系消泡剂，由于消泡剂成为涂膜上的排斥、起颗粒等涂布缺陷的原因，所以期望开发出对涂布性能不带来恶劣影响而赋予优异的消泡性的消泡剂。作为不引起排斥、起颗粒等涂布缺陷而赋予优异的消泡性的消泡剂，例如已知有包括：α,ω-二(氟代烷基磺酰基氨基)烷基和/或α-氟代烷基磺酰基氨基、ω-氟代烷基羰基氨基烷基和/或二(氟代烷基羰氨基)烷基的含有氟原子的消泡剂(例如参照专利文献1)。然而，专利文献1中公开的消泡剂添加至包含表面活性剂的溶剂系的涂层组合物、抗蚀剂组合物时，几乎不能期待消泡效果。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-192689号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明要解决的课题是提供：不会对表面平滑性带来恶劣影响并能够极大地改善其消泡性的消泡剂、以及使用其的涂层组合物和抗蚀剂组合物。

用于解决问题的方案

本发明人等为了解决上述课题，进行深入研究的结果发现，通过使多官能的(甲基)丙烯酸酯所具有的(甲基)丙烯酰基与氟代烷基利用迈克尔加成反应加成而得到的化合物，可以作为不会对表面平滑性带来恶劣影响并能够极大地改善其消泡性的消泡剂而使用，通过在涂层组合物、抗蚀剂组合物中利用该消泡剂，能够得到消泡性优异的涂层组合物、抗蚀剂组合物，至此完成了本发明。

即，本发明提供一种消泡剂，其特征在于，其是使1摩尔的1分子中具有k个(此处，k为2以上)(甲基)丙烯酰基的化合物(a1)与2～k摩尔的具有氟代烷基和活性氢的化合物(a2)进行迈克尔加成而得到的。

另外，本发明提供一种表面活性剂组合物，其特征在于，包含前述消泡剂和氟系表面活性剂。

进而，本发明提供一种涂层组合物，其特征在于，包含前述消泡剂和氟系表面活性剂。

进而，本发明提供一种抗蚀剂组合物，其特征在于，包含前述消泡剂和氟系表面活性剂。

发明的效果

通过本发明，可以提供能够降低各种氟系表面活性剂的起泡性的消泡剂。另外，本发明的消泡剂能够维持氟系表面活性剂所具有的流平性并且抑制泡的产生，所以能够适合用于涂层组合物、抗蚀剂组合物。

具体实施方式

本发明的消泡剂是使1摩尔的1分子中具有k个(此处，k为2以上)(甲基)丙烯酰基的化合物(a1)与2～k摩尔的具有氟代烷基和活性氢的化合物(a2)进行迈克尔加成而得到的。使化合物(a1)与化合物(a2)进行迈克尔加成时，即便使1摩尔的化合物(a1)与少于2摩尔的(a2)加成，也形成来自于表面活性剂的泡的消泡效果不充分的消泡剂，故不优选。

此处，本发明中使用的化合物(a1)为具有各种个数的(甲基)丙烯酰基的化合物的混合物时，化合物(a1)所具有的(甲基)丙烯酰基的个数是指化合物所具有的平均(甲基)丙烯酰基的个数。

从能够得到来自于表面活性剂的泡的消泡效果优异并且未反应的化合物(a2)等未反应原料的蒸馏去除的成本也得到抑制的消泡剂的方面出发，前述k优选为2～40，更优选为2～20，进而优选为3～20，特别优选为4～20。此处，作为化合物(a1)，使用具有各种k值的化合物的混合物时，将混合物中的一分子所具有的(甲基)丙烯酰基的平均值作为k。