[发明专利]感光性树脂组合物、保护膜或绝缘膜、触摸面板及其制造方法

说明书

本发明的目的在于提供一种兼具能够获得高硬度，透明性、耐湿热性、密合性和耐化学性优异的固化膜，并且涂液的保存稳定性良好，保存中密合性和耐化学性不降低这样的多种性能的能够碱性显影的感光性树脂组合物，提供一种感光性树脂组合物，是含有(A)碱溶性树脂、(D)金属螯合物和(E)硅烷化合物的感光性树脂组合物，上述(A)碱溶性树脂为特定范围的双键当量的碱溶性树脂，上述(D)金属螯合物为特定结构的化合物，上述(E)硅烷化合物为特定结构的四官能硅烷或硅烷低聚物。

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、保护膜或绝缘膜、触摸面板及其制造方法。

背景技术

近年来，随着智能手机、平板终端的普及，静电容量式触摸面板备受关注。一般而言，静电容量式触摸面板的传感器基板具有下述结构：在玻璃上具有ITO(氧化铟锡，IndiumTin Oxide)、金属(银、钼或铝等)进行了图案形成的配线，此外在配线的交叉部具有绝缘膜、保护ITO和金属的保护膜。一般而言，保护膜由高硬度的无机系的SiO₂或SiN_x、或感光性透明材料等形成(专利文献1)，绝缘膜由感光性透明材料形成的情况多。然而无机系材料具有下述课题：将SiO₂、SiN_x通过CVD(化学气相沉积，Chemical Vapor Deposition)进行高温制膜来形成，而且为了进行使用了抗蚀剂的图案加工而工艺数增加等，制造成本变高。进一步，缺乏耐湿热性，基底的金属配线腐蚀等，不能获得可靠性高的触摸面板。

关于感光性透明材料，虽然预料到由工艺数的减少带来的成本减少，但具有下述课题：硬度不充分，而且与无机系材料同样地耐湿热性低，在可靠性试验中，基底的金属配线腐蚀等。

由感光性透明材料获得的固化膜暴露于用于对ITO、基底的金属配线进行加工的蚀刻液等酸性或碱性的各种药液，如果固化膜的耐化学性低，则在固化膜与基底的金属配线、基板的界面发生剥离、浮起而成为ITO的断线等的原因。

进一步如果将感光性透明材料的涂液在室温下进行保存，则还有保存中材料变质，与基板的密合性、耐化学性降低这样的课题。因此，强烈要求高硬度，透明性、耐湿热性、密合性和耐化学性优异，能够利用碱性显影液进行图案加工，并且涂液的保存稳定性良好，保存中密合性和耐化学性不降低的感光性透明材料。

作为感光性透明材料，已知含有碱溶性树脂、自由基聚合性化合物、光聚合引发剂和其它添加剂的UV固化型涂布组合物。该组合物用于例如，滤色器用外覆层材和隔离物材，此外进一步通过含有着色剂也用于彩色抗蚀剂(专利文献2、3)。为了改善上述那样的问题，开发了含有多官能环氧化合物的感光性透明材料(专利文献3)、含有锆化合物那样的金属螯合物的感光性透明材料(专利文献4)、含有具有3个或4个水解性烷氧基的硅烷化合物的感光性透明材料(专利文献5)、含有(甲基)丙烯酰基当量为100～300g/eq的聚合物、螯合物、硅烷偶联的感光性透明材料(专利文献6)或含有醇交换反应催化剂、具有2个以上水解性甲硅烷基、硅烷醇基的硅烷偶联剂的感光性透明材料(专利文献7)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-279819号公报

专利文献2：日本特开2006-30809号公报

专利文献3：日本特开2010-24434号公报

专利文献4：国际公开第2011/129210号

专利文献5：日本特开2007-225812号公报

专利文献6：国际公开第2004/39856号

专利文献7：日本特开2011-102027号公报

发明内容

发明所要解决的课题