[发明专利]电子显微镜和试样观察方法

权利要求书

1.一种电子显微镜，其特征在于，

具备：

检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样而发生的电子；

显示装置，其根据该检测器的输出，显示所述试样的显微镜像；

气体导入装置，其用于向所述试样放出气体；以及

气体控制装置，其控制所述气体导入装置的气体放出量，使得在该气体导入装置的气体放出过程中，将设置了所述检测器的空间内的真空度持续保持为不足设定值，

设置了所述检测器的空间与设置了所述试样的空间通过电子显微镜的物镜的上磁极进行划分，并且经由独立的路径连接同一真空泵。

2.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

该电子显微镜还具有试样架，该试样架具有加热器以及真空计，

在对通过所述电子束发生的电子进行检测时，向所述检测器施加电压，

所述真空计示出的所述设定值被设定为即使对所述检测器施加所述电压也不发生放电的值，

所述加热器对所述试样进行加热。

3.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述检测器是对通过所述电子束发生的电子进行检测的二次电子检测器，所述显微镜像是通过所述二次电子检测器检测出的二次电子像。

4.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述检测器是对通过所述电子束发生的电子进行检测的二次电子检测器和对所述电子束所涉及的电子中透过所述试样的电子进行检测的亮视野检测器以及暗视野检测器，

所述显示装置显示通过所述二次电子检测器检测出的二次电子像和与该二次电子像同时刻地通过所述亮视野检测器或所述暗视野检测器检测出的显微镜像，作为所述显微镜像。

5.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

所述检测器是对通过所述电子束发生的电子进行检测的反射电子检测器，所述显微镜像是通过所述反射电子检测器检测出的反射电子像。

6.根据权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，

在所述显示装置中还显示所述显微镜像的拍摄时刻、该拍摄时刻的所述试样附近的真空度和所述试样的温度中的至少一者。

7.根据权利要求4所述的电子显微镜，其特征在于，

在所述显示装置中同时显示通过所述二次电子检测器检测出的二次电子像、与该二次电子像同时刻地通过所述亮视野检测器或所述暗视野检测器检测出的显微镜像。

8.根据权利要求4所述的电子显微镜，其特征在于，

所述显示装置具有显示部，其显示通过所述二次电子检测器检测出的二次电子像、与该二次电子像同时刻地通过所述亮视野检测器检测出的亮视野像、与该二次电子像同时刻地通过所述暗视野检测器检测出的暗视野像中的某一个，

该显示部中显示的显微镜像是能够选择的。

9.根据权利要求4所述的电子显微镜，其特征在于，

所述显示装置具有显示部，其叠加地显示通过所述二次电子检测器检测出的二次电子像、与该二次电子像同时刻地通过所述亮视野检测器检测出的亮视野像、与该二次电子像同时刻地通过所述暗视野检测器检测出的暗视野像中的某2个，

该显示部中叠加显示的2个显微镜像中位于上方的显微镜像的透过率是能够变更的。

10.根据权利要求9所述的电子显微镜，其特征在于，

所述显示部中叠加显示的2个显微镜中的一方以彩色显示。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的电子显微镜，其特征在于，

还具备录像装置，其对所述显示装置中显示的显微镜像进行录像。

12.一种基于电子显微镜的试样观察方法，其特征在于，

控制向试样放出的气体放出量，使得设置了检测器的空间内的真空度被持续保持为不足设定值，所述检测器检测通过电子枪发生的电子束照射所述试样时发生的电子，设置了所述检测器的空间与设置了所述试样的空间通过电子显微镜的物镜的上磁极进行划分，并且经由独立的路径连接同一真空泵，

通过所述检测器检测在所述电子束的照射时发生的电子，根据所述检测器的输出，在显示装置中显示显微镜像。