[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，

是通过将超短脉冲光的激光聚光于加工对象物从而在所述加工对象物形成改质区域的激光加工装置，

具备：

将所述激光射出的激光光源；

将由所述激光光源射出的所述激光聚光于所述加工对象物的包含多个透镜而构成的聚光光学系统；及

作为对通过所述聚光光学系统聚光于所述加工对象物的所述激光赋予像差的像差赋予部的空间光调制器，

在所述激光的光轴方向上，在将作为由于将所述激光通过所述聚光光学系统聚光于所述加工对象物而不依存所述空间光调制器在该聚光位置自然产生的像差的聚光产生像差的范围作为基准像差范围的情况下，

所述空间光调制器以将在所述光轴方向上比所述基准像差范围更长的长条范围作为像差的范围来具有，并且所述光轴方向上的所述激光的强度分布具有在所述长条范围连续的强弱的方式对所述基准像差范围的所述聚光产生像差加上第1像差，

所述空间光调制器相对于在浅的位置侧产生了偏差的强度分布的所述激光赋予所述第1像差。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器以在沿着所述光轴方向接近排列的多个位置形成所述激光的聚光点的方式，对所述激光赋予所述第1像差。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将由实现轴棱锥透镜的作用的相位调制所产生的像差作为所述第1像差来赋予。

4.如权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将由实现轴棱锥透镜的作用的相位调制所产生的像差作为所述第1像差来赋予。

5.如权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将规定的球面像差作为所述第1像差赋予给所述激光。

6.如权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将产生包含于像差的强度分布的偏差的不要成分除去或调整。

7.如权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将产生包含于像差的强度分布的偏差的不要成分除去或调整。

8.如权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将有关修正所述聚光产生像差的像差修正的第2像差、由轴棱锥透镜图案所产生的像差和规定的球面像差赋予给所述激光。

9.如权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将有关修正所述聚光产生像差的像差修正的第2像差、由轴棱锥透镜图案所产生的像差和规定的球面像差赋予给所述激光。

10.如权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将有关修正所述聚光产生像差的像差修正的第2像差、由轴棱锥透镜图案所产生的像差和规定的球面像差赋予给所述激光。

11.如权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，

所述空间光调制器将有关修正所述聚光产生像差的像差修正的第2像差、由轴棱锥透镜图案所产生的像差和规定的球面像差赋予给所述激光。

12.如权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述加工对象物包含玻璃，

所述超短脉冲光的所述激光具有100ps以下的脉冲宽度。

13.如权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，

所述加工对象物包含玻璃，

所述超短脉冲光的所述激光具有100ps以下的脉冲宽度。

14.如权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，

所述加工对象物包含玻璃，

所述超短脉冲光的所述激光具有100ps以下的脉冲宽度。

15.如权利要求7所述的激光加工装置，其特征在于，

所述加工对象物包含玻璃，

所述超短脉冲光的所述激光具有100ps以下的脉冲宽度。

16.如权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，

所述加工对象物包含玻璃，

所述超短脉冲光的所述激光具有100ps以下的脉冲宽度。