[发明专利]带电粒子束装置以及过滤部件

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

带电粒子光学镜筒，其向试料上照射一次带电粒子束；

箱体，其构成该带电粒子束装置的一部分，并利用真空泵对其内部进行真空排气；

隔膜，其能够维持上述真空排气了的箱体的内部的气密状态，而且使上述一次带电粒子束透射或者通过；以及

过滤部件，其至少在上述一次带电粒子束照射于上述试料的状态下配置在该一次带电粒子束的路径上，使上述一次带电粒子束以及从上述试料得到的二次带电粒子透射或者通过，而且在上述隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽，

上述过滤部件具有：使上述一次带电粒子束透射或者通过的开口部；以及形成于上述开口部的周边的网状部件。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述过滤部件以能够拆装的方式设置在保持上述隔膜的隔膜保持部件。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

上述隔膜保持部件具备用于将上述过滤部件与上述隔膜的位置关系配置于规定的位置的定位部。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

多个上述过滤部件排列地配置在上述带电粒子光学镜筒的光轴上。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具有与上述开口部不同的孔，该孔使上述过滤部件与上述隔膜之间的空间与上述箱体内的空间连通，且在上述隔膜破损了的情况下，使从上述隔膜向上述带电粒子光学镜筒侧流入的气体的至少一部分向上述箱体内部放出。

6.一种过滤部件，设置于带电粒子束装置，

该带电粒子束装置具备：

带电粒子光学镜筒，其向试料上照射一次带电粒子束；

箱体，其构成该带电粒子束装置的一部分，并利用真空泵对其内部进行真空排气；以及

隔膜，其能够维持上述被真空排气的箱体的内部的气密状态，而且使上述一次带电粒子束透射或者通过，

上述过滤部件的特征在于，

该过滤部件至少在上述一次带电粒子束照射于上述试料的状态下配置在该一次带电粒子束的路径上，

使上述一次带电粒子束以及从上述试料放出或者反射的二次带电粒子透射或者通过，而且在上述隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽，

上述过滤部件具有：使上述一次带电粒子束透射或者通过的开口部；以及形成于上述开口部的周边的网状部件。