[发明专利]处理装置以及处理装置中的工件的温度计测方法

权利要求书

1.一种处理装置，用于对工件进行改性处理，其特征在于包括：

腔室，用于收容所述工件；

测量件，被设置在所述腔室的内部中与所述工件不同的位置，并在所述腔室的内部的温度的影响下热伸缩；以及

计测部，通过计测所述测量件的热伸缩量、并使用改性处理前的所述测量件的温度、计测的所述测量件的热伸缩量、所述测量件的线膨胀系数，来计算所述工件的实际温度，

所述测量件呈沿特定的长度方向延伸的棒状，在所述长度方向中具有一端和另一端，

所述计测部基于所述测量件的沿所述长度方向的热伸缩量，计测所述工件的实际温度，具有激光移位计，该激光移位计为了计测所述另一端相对于所述一端的所述长度方向上的相对移位，对所述测量件的另一端照射测量用的激光。

2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述测量件采用与所述工件相同的材料形成。

3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

在所述腔室设有观测窗，以便可从所述腔室的外侧观测所述腔室内的所述测量件，

所述计测部通过所述观测窗计测所述测量件的热伸缩量。

4.根据权利要求3所述的处理装置，其特征在于还包括：

旋转台，在所述腔室内使所述工件绕旋转轴公转，其中，

所述测量件被配置成其长度方向的其中一端被固定于所述旋转台上，并且，所述长度方向平行于所述旋转轴，

所述观测窗，在构成所述腔室的壁、即面对所述旋转台的部分设置，以便所述计测部能够从所述腔室的外部计测所述腔室内的所述测量件的另一端的热伸缩量。

5.根据权利要求4所述的处理装置，其特征在于还包括：

蒸发源，被设置在所述腔室内，用于对所述工件进行成膜，其中，

所述测量件被设置在以所述旋转台的所述旋转轴为中心的径向上，并且从所述工件观察时处于所述蒸发源的相反侧且邻接于所述工件的位置。

6.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述测量件被保持在与所述工件相同的电位。

7.一种处理装置中的工件的温度计测方法，用于在对工件进行改性处理的处理装置中计测该工件的温度，其特征在于包含以下步骤：

在收容所述工件的腔室的内部中与所述工件不同的位置设置在所述腔室的内部的温度的影响下热伸缩的测量件；

通过计测所述测量件的热伸缩量、并使用改性处理前的所述测量件的温度、计测的所述测量件的热伸缩量、所述测量件的线膨胀系数，来计算所述工件的实际温度，

所述测量件呈沿特定的长度方向延伸的棒状，在所述长度方向中具有一端和另一端，

所述测量件的热伸缩量的计测为，基于所述测量件的沿所述长度方向的热伸缩量计测所述工件的实际温度，使用激光移位计，该激光移位计为了计测所述另一端相对于所述一端的所述长度方向上的相对移位，对所述测量件的另一端照射测量用的激光。