[发明专利]固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板

权利要求书

1.一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，含有下述化学式(1)表示的(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物、(b)羧酸、巯基苯并噻唑、苯并噻唑基硫代乙酸及苯并噻唑基硫代丙酸中的至少1种以上、及(c)胺、氢氧化钠及氢氧化钾中的至少1种以上，并且

所述(a)的伸烷基加成物的总加成摩尔数为4～12摩尔，

所述(a)的含量为0.01～5.0重量％，

所述(c)的含量为可中和所述(b)的量或为此量以上，且所述(b)与所述(c)的总和为5重量％以下，

[化学式1]

化学式(1)

其中，R表示分别相同或不同的碳数1～4的伸烷基，m1+m2+n1+n2表示伸烷基加成物的总加成摩尔数，为4～12的整数。

2.根据权利要求1所述的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其进而含有(d)二醇、聚伸烷基二醇、二醇醚、聚伸烷基二醇醚、甘油及甘油的伸烷基加成物中的至少1种以上。

3.一种铸锭的切削方法，使用根据权利要求1所述的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得电子材料用基板。