[发明专利]多马达MEMS器件中的差分输出

权利要求书

1.一种声学装置，该声学装置包括：

第一MEMS马达，其包括第一隔膜和第一背板，该第一马达生成表示声能的第一差分信号；

第二MEMS马达，其包括第二隔膜和第二背板，该第二马达生成表示声能的第二差分信号；

第一前置放大器电路，其耦接至所述第一马达，所述第一前置放大器电路从所述第一差分信号产生第一前置放大信号；

第二前置放大器电路，其耦接至所述第二马达，所述第二前置放大器电路从所述第二差分信号产生第二前置放大信号；

差分级，其耦接至所述第一前置放大器电路和所述第二前置放大器电路，所述差分级被配置为获得所述第一前置放大信号和所述第二前置放大信号之间的差；

使得在所述第一隔膜和所述第一背板之间生成第一差分偏置电压以生成所述第一差分信号，并且在所述第二隔膜和所述第二背板之间生成第二差分电压以生成所述第二差分信号；

其中，通过所述差分级除去所述第一马达和所述第二马达之间的共模噪声。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一隔膜被施加正电位，并且所述第二隔膜被施加负电位。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一隔膜被施加正电位，并且所述第二背板被施加正电位。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一前置放大器和所述第二前置放大器被设置在分开的集成芯片上。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一前置放大器和所述第二前置放大器被设置在同一个集成芯片上。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一马达和所述第二马达之间的共模噪声约0度异相。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一差分信号和所述第二差分信号约180度异相。

8.一种操作声学装置的方法，所述声学装置包括第一MEMS马达和第二MEMS马达，所述第一MEMS马达包括第一隔膜和第一背板，所述第二MEMS马达包括第二隔膜和第二背板，所述方法包括：

使用第一电极性使所述第一马达偏压，并且使用第二电极性使所述第二马达偏压，使得所述第一电极性和所述第二电极性相反；

在所述第一马达处，生成表示接收到的声能的第一信号；

在所述第二马达处，生成表示接收到的声能的第二信号；

获得表示所述第一信号和所述第二信号之间的差的差分输出信号；

其中，在获得所述差分输出信号时，除去了所述第一马达和所述第二马达之间的共模噪声。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一隔膜被施加正电位，并且所述第二隔膜被施加负电位。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一隔膜被施加正电位，并且所述第二背板被施加正电位。

11.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一马达和所述第二马达之间的共模噪声约0度异相。

12.根据权利要求8所述的方法，其中，所述第一信号和所述第二信号约180度异相。