[发明专利]音叉型石英晶体谐振片及石英晶体谐振器

说明书

技术领域

本发明涉及一种音叉型石英晶体谐振片及石英晶体谐振器。

背景技术

在音叉型石英晶体谐振片中，已有一种由根部和从该根部伸出的两个脚部构成的音叉型石英晶体谐振片(例如，参照专利文献1)。在这样的音叉型石英晶体谐振片中，以不同电位构成的一对激励电极形成在两个脚部。通过将该音叉型石英晶体谐振片气密密封在由基座和盖体构成的主体壳体的内部空间内，而构成音叉型石英晶体谐振器(例如，参照专利文献1)。该音叉型石英晶体谐振片中，在脚部形成有沟槽，通过在脚部形成沟槽而使坎部成形在脚部。该沟槽的形成能够使CI值降低。扩大沟槽的宽度能减小坎部的宽度、提高电流效率，因而能使CI值进一步减小。然而，要使脚部振荡，坎部的宽度必须在所需的最下限内，相应于脚部的尺寸，沟槽宽度、坎部宽度也有限度。即，通过扩大沟槽的宽度来实现CI值的降低是有限度的。另外，以往，因石英晶体的各向异性刻蚀，脚部侧面会产生尖头突起，由于该突起，在脚部的厚度方向上，沟槽的内面电极与脚部侧面电极间的距离会改变，从而振荡效率降低。

然而，近年来，音叉型石英晶体谐振片不断向小型化发展，随着音叉型石英晶体谐振片的小型化，对形成有沟槽的脚部形成激励电极变得较困难。

另外，以往，能够充分确保坎部的宽度，实现良好的振荡，但将音叉型石英晶体谐振片小型化之后，坎部的宽度变窄了。其结果，一对激励电极的间隙变得极其窄，而间隙极其窄，会使振荡变得不稳定，另外，因刚性降低，有时会产生其他振荡模。

【专利文献1】：日本特开2012-217140号公报

发明内容

于是，为了解决上述技术问题，本发明的目的在于，提供一种对于设有形成了沟槽的脚部的音叉型石英晶体谐振片，即使相对于脚部宽度而言沟槽宽度较大也能实现稳定振荡的音叉型石英晶体谐振片及石英晶体谐振器。

为了达到上述目的，本发明所涉及的音叉型石英晶体谐振片由具有结晶取向的石英晶片构成，其特征在于：设有根部、和从所述根部向一个方向伸出的一对脚部，所述各脚部的至少一个主面上形成有沟槽和坎部，所述坎部是因所述沟槽的形成而成形的，所述坎部的宽度在(音叉型石英晶体谐振片的)厚度方向上不同，所述坎部由宽度较宽的宽壁部和宽度较窄的窄壁部构成。

基于本发明，对于设有形成了沟槽的脚部的音叉型石英晶体谐振片，即使相对脚部宽度而言沟槽宽度较大，也能进行稳定的振荡。具体而言，由于所述坎部由所述窄壁部和所述宽壁部构成，所以，能够实质上将所述坎部的宽度设定得较宽，其结果，能够抑制其它振荡模的发生(乱真的发生)，进行稳定的振荡。另外，基于以往的音叉型石英晶体谐振片，可以通过扩大沟槽宽度来实现CI值的降低，但另一方面，若使脚部侧面的形状平坦则会使坎部宽度整体上变窄，其结果，导致刚性降低。因此，以往的音叉型石英晶体谐振片中，若采用扩大沟槽宽度来实现CI值的降低的方式，则难以确保振荡所需的坎部宽度。然而，基于本发明，采用上述结构，能够扩大沟槽宽度来实现CI值的降低，而且还能确保振荡所需的坎部宽度。

另外，基于本发明，由于所述坎部由所述宽壁部和所述窄壁部构成，所以，利用所述宽壁部，既能实现该音叉型石英晶体谐振片的小型化，又能强化刚性，其结果，能够获得稳定的振荡，抑制振荡频率的增加。另外，利用所述窄壁部，既能实现该音叉型石英晶体谐振片的小型化，又能使CI值降低。如此，由于所述坎部由所述宽壁部和所述窄壁部构成，能够在利用所述宽壁部维持刚性的同时，相对于所述脚部的宽度将所述沟槽的宽度设定得较大，从而能够实现既抑制了振荡频率的增加又降低了CI值的小型音叉型石英晶体谐振片。

另外，在所述结构中，较佳为，所述沟槽被形成为相对于所述脚部的宽度方向的中心偏位，所述沟槽为，在所述宽度方向的截面形状中，所述沟槽的最低点至所述脚部的两侧面为止的长度相同。

在此情况下，虽然所述沟槽被形成为相对于所述脚部的宽度方向的中心偏位，但所述沟槽的最低点至所述脚部的两侧面为止的长度相同，由于所述宽壁部，在所述宽度方向的截面形状中，所述沟槽的左右的重量平衡良好。其结果，能够实现振荡的稳定化。

另外，在此所说的“偏位”是指，沟槽被形成为相对于所述脚部的宽度方向的中心，位置偏置即可，但所述沟槽(所述沟槽的内面)至脚部的两侧面为止的距离(脚部的主面上形成的坎的尺寸)必须相同。