[发明专利]X射线发生器及构成此的X射线发生部与高电压发生部

说明书

技术领域

本发明涉及X射线发生器，即通过分离高电压发生部与X射线发生部而能够分别供货的可拆卸方式的分离型的X射线发生器，及构成此的X射线发生部与高电压发生器。

背景技术

一般地说，液晶显示屏(LCD)、PDP及半导体制造工艺中，因静电的发生而使微细的灰尘附着到LCD、PDP及半导体晶圆(wafer)，或因静电放电而导致元件的毁损，使产品收益率下降，由此造成制造成本上升的副作用。

因此，进行半导体工艺等的无尘室一般都设有用于消除静电的装置。

这种用于消除静电的传统技术为利用电晕放电的静电消除装置。

该装置为了根据电晕放电而产生离子并吹出离子化的空气，采用了利用风扇(Fan)使空气对流的方式。

但是，这种静电消除装置(也称X射线发生器)因根据高电压放电的溅射现象，放电电极的末端产生大量的(数万个/ft3)0.01μm以下的金属微粒而附着厚，因风扇的强制对流而掉落，粘贴到半导体、PDP及LCD图案周边而导致众多不良。

并且，利用电晕放电的静电消除装置在高电压放电时发生的臭氧气体达到4～10ppm，除了诱发粉尘的附着之外，因生成的+离子及－离子的平衡(Balance)随时产生变化，存在每次都需重新调整离子平衡(Balance)的不便。

作为对此的对策，最近提出的是利用软X射线(softX-ray)的空气电离作用而实现空气的离子化，从而中和或缓和被带电体的静电的方法。

软X射线照射式不会产生微细灰尘，无需使空气对流，因此被认为是适合平板显示器制造工艺及半导体制造工艺中消除静电的方式。

软X射线照射式的静电消除装置的一例为美国专利第5，949，849号。

根据该专利的静电消除装置具备保护壳、发生软X-射线的X-射线管、电源装置，X-射线管具备灯泡、阴极、输出窗、输出窗支持部、法兰部、对阴极，这些X-射线管内部构成要素与保护壳相互热性及电气性地连接。

软X射线照射式的静电消除装置的另一例为日本专利第2951477号。

该专利涉及静电消除技术，在向已布置用于消除静电的既定的带电物体的气氛照射X射线的位置，内置施加既定的对阴极电压及对阴极电流的对阴极的同时，布置具有铍(Be)窗的X射线管，通过对从所述铍窗到主波长为2埃(Angstrom)以上20埃以下范围内的照射所述X射线的区域的所述气氛所包括的元素进行离子化，包括所述离子的所述气氛中消除某个所述既定带电物体的静电的技术。

软X射线照射式的静电消除装置的另一例为日本公司滨松光子申请的发明名称为“X射线发生器及利用此的静电控制器”(韩国专利申请编号第10-2004-0089634号)。

该发明中公开的X-射线发生器的技术思想的一要旨为：在固定到设置于灯泡的前端的导电性及热传导性的输出窗支持部的输出窗的内面，固定具有接地电位的标的，保护容器收容向所述标的照射电子束的具有阴极的X-射线管及驱动该X-射线管的电源部，使形成于所述输出窗支持部而向外侧突出的法兰部接触并固定到具有热传导性的所述保护容器，但X-射线管及驱动所述X-射线管的电源部形成为一体式。

其次，图1至图3是传统静电消除装置的实图，图1是整体外观图，图2及图3呈现打开上部壳时的内部构成图。通过图2及图3可知，高电压发生部200通过电线10而与X射线管300(X射线发生部)构成为一体式。

作为参考，如图2及图3所图示，大部分静电消除装置的构成可分为设置于左侧的高电压发生部及设置于右侧的X射线发生部。

这种传统的软X射线照射式(以下称X射线照射式)即使存在其结构的部分差距，基本上都由接收外部电源的供应而发生高电压的电装部即高电压发生部及接收该高电压发生部输出的既定的高电压而发生X射线的X射线管(以下称X射线发生部)构成。

但是，上面说明的传统的软X射线照射式的静电消除装置中被施加外部电源而发生高电压的高电压发生部及接收高电压发生部的供电的X射线管是以一体构成于一个壳内而进行销售，因此存在如下问题。

第一、高电压发生部及X射线发生部中任意一个发生瑕疵时，因无法更换发生瑕疵的部分而存在需更换整个产品的问题，

第二、因高电压发生部及X射线发生部为一体式，设置静电消除装置的状态下，若变更X射线的照射位置或方向，存在需从设置场所分离静电消除装置而移动的问题，

第三、存在高电压发生部的电装部因X射线发生部中发生的高热而发生错误运转的担忧。

发明内容

(要解决的技术问题)