[发明专利]具有金属粘合层的气缸衬垫以及形成该气缸衬垫的方法

权利要求书

1.一种带涂层的气缸衬垫的制造方法，其特征在于，包括步骤：

提供包括从第一本体端延伸到第二本体端的内表面的本体，所述内表面环绕中心轴线以限定孔口以及处于所述第一本体端的第一开口以及处于所述第二本体端的第二开口；

将所述本体布置在沉积腔内，所述第一本体端不密封，从而所述本体的内表面暴露于所述沉积腔；

在所述本体的所述孔口内布置自耗金属电极，所述自耗金属电极由金属形成；

将所述第二本体端安装在绝缘支撑上，其中所述绝缘支撑被布置在所述沉积腔的表面上；以及

溅射所述自耗金属电极的金属到所述本体的所述内表面上。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在溅射所述自耗金属电极的至少一些金属到所述内表面之后，沉积耐磨损成分到所述内表面上，所述耐磨损成分包括碳氢化合物。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在溅射所述自耗金属电极的至少一些的金属到所述内表面上之后并且在沉积所述耐磨损成分到所述内表面之前，在所述内表面上溅射第二成分以及自耗金属电极的金属的混合物。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述自耗金属电极为固体且所述自耗金属电极的金属选自由铬和钛组成的组。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述自耗金属电极包括具有中空开口的电极壁并包括延伸通过所述电极壁的多个孔口；并且包括提供载气通过所述中空开口和孔口并进入所述沉积腔的步骤。

6.一种带涂层的气缸衬垫的制造方法，其特征在于，包括步骤：

提供包括从第一本体端延伸到第二本体端的内表面的本体，所述内表面环绕中心轴线以限定孔口以及处于所述第一本体端的第一开口以及处于所述第二本体端的第二开口，所述本体包括与所述内表面处于相反面的外表面；以及

在所述本体的所述孔口内布置自耗金属电极，所述自耗金属电极由金属形成；

密封所述第一开口和所述第二开口以沿着所述内表面形成沉积腔；所述密封所述第二开口的步骤包括邻近所述第二本体端将第二密封件与所述本体的所述外表面的一部分接合，以及将所述第二密封件与沿着所述本体的所述外表面和所述第二开口延伸的第二盖接合以密封所述第二开口；以及

溅射所述自耗金属电极的金属到所述本体的所述内表面上。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，提供真空泵，所述真空泵经由所述第二盖并进入所述沉积腔，用于减少所述沉积腔内的压强；

施加负电压到所述自耗金属电极上以在所述沉积腔内形成等离子体；以及

提供包括正离子的载气到所述沉积腔内。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述自耗金属电极包括电极壁，所述电极壁沿着所述中心轴线具有中空开口，且所述自耗金属电极包括延伸通过所述电极壁的多个孔口；并且其中所述提供载气的步骤包括提供所述载气通过所述中空开口和所述自耗金属电极的孔口并进入所述沉积腔。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述自耗金属电极的金属选自由铬和钛组成的组；并且包括在溅射至少一些所述自耗金属电极的金属到所述内表面之后在所述载气中提供第二成分的步骤，所述第二成分是氮；以及

在溅射所述第二成分后，在所述载气中提供至少一种耐磨损成分，所述耐磨损成分包括碳氢化合物。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，将所述第二本体端与所述第二盖间隔开以使得所述第二本体端和所述本体的所述外表面的一部分提供所述沉积腔。