[发明专利]由多个薄膜形成的防指纹层的组合物及其制备方法

权利要求书

1.组合物作为用于提高防水防油涂敷膜的耐久性的上述防水防油涂敷膜的基膜的应用，其中，上述组合物为包含二氧化硅、氧化铝、二氧化钛和二氧化锆的混合物，

其中，上述二氧化硅在上述组合物中占90重量百分比，氧化铝、二氧化钛和二氧化锆这三种成分在上述组合物中占10重量百分比。

2.根据权利要求1所述的组合物作为用于提高防水防油涂敷膜的耐久性的上述防水防油涂敷膜的基膜的应用，其中，对包含氟、硅中的至少一种的化合物进行蒸镀来制备防水防油涂敷膜。

3.一种由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，包括：

步骤(i)，准备玻璃或高分子基板；

步骤(ii)，在上述基板上借助刻蚀来形成上述基板中所要蒸镀防指纹层的部分；

步骤(iii)，在包括所要蒸镀上述防水防油涂敷膜的部分的上述基板的表面蒸镀由权利要求1或2所述的组合物形成的基膜；

步骤(iv)，在所蒸镀的上述基膜上形成防水防油涂敷膜；以及

步骤(v)，清除形成有上述防水防油涂敷膜的上述基板。

4.根据权利要求3所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，

在上述步骤(i)和步骤(ii)之间还包括利用湿式清洗剂的清洗工序。

5.根据权利要求3所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(ii)中，上述刻蚀通过离子刻蚀法、射频等离子刻蚀法中的至少一种方法来进行刻蚀。

6.根据权利要求5所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(ii)中，利用离子刻蚀的情况下，在真空度为7×10^-2Torr至2×10^-7Torr时，使氧、氩或使氧和氩的气体离子化，并使离子化的气体离子与上述基板的表面相碰撞来对上述基板的表面进行刻蚀。

7.根据权利要求5所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(ii)中，利用射频等离子刻蚀的情况下，所利用的气体包含氧、氩或包含氧和氩的气体。

8.根据权利要求3所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，上述基膜的蒸镀利用电阻加热式蒸镀法、电子束蒸镀法、电子束离子镀、溅射、溅射离子镀系统、激光分子束外延法、脉冲激光沉积法、化学气相蒸镀法、离子辅助沉积法中的至少一种方法来进行蒸镀。

9.根据权利要求8所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在通过上述电子束蒸镀法来对上述基膜进行蒸镀的情况下，在真空度为7×10^-2Torr至2×10^-7Torr且温度为20至180℃时进行蒸镀。

10.根据权利要求8所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，上述离子辅助沉积法同时进行电子束蒸镀法和离子束蒸镀法。

11.根据权利要求10所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，使用于上述离子束蒸镀法的离子束为氧、氩或氧和氩的气体。

12.根据权利要求10所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，当利用上述离子束蒸镀法来进行蒸镀时，以1×10¹³个/cm²至5×10¹⁷个/cm²的数量照射离子束。

13.根据权利要求3所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iv)中，对包含氟、硅中的至少一种的化合物进行蒸镀来制备上述防水防油涂敷膜。

14.根据权利要求3所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iv)中，利用电阻加热式蒸镀法、电子束蒸镀法、电子束离子镀、溅射、溅射离子镀系统、激光分子束外延法、脉冲激光沉积法、化学气相蒸镀法、离子辅助沉积法中的至少一种方法来对上述防水防油涂敷膜进行蒸镀。