[发明专利]显示装置及其制造方法

说明书

相关申请案

本专利申请案主张2013年3月14日申请的且让渡给本受让人的标题为“使用激光照射形成通孔的方法(MethodofFormingViaHoleUsingLaserIrradiation)”的第2013-051974号日本申请案的优先权，且所述申请案特此以引用的方式明确地并入本文中。

技术领域

本发明涉及显示装置及其制造方法。

背景技术

微机电系统显示器(MEMS显示器)为被预期为替换液晶显示器的显示器。(参见专利文献1。)此显示器使用机械快门方法打开及闭合透光窗口，所述方法不同于使用偏光的液晶快门方法。具体地说，快门经配备用于TFT衬底上的每一像素，薄膜晶体管(TFT)形成于所述TFT衬底上。通过在水平方向上经由静电力移动快门而打开及闭合孔径来显示图像。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本未审查专利申请公开案2008-197668

[专利文献2]日本未审查专利申请公开案2006-301115

[专利文献3]日本未审查专利申请公开案2012-108409

发明内容

[待由本发明解决的问题]

有必要防止将快门粘在对置衬底上以便平稳地打开及闭合快门。出于那个目的，使用导电材料来尝试对置衬底及TFT衬底的电连续性。此类连续性在液晶显示装置中也是所需的，如专利文献2及3中所揭示。然而，在TFT衬底的表面由钝化层覆盖的状况下，难以使用导电材料来实施电连续性。

本发明的目标是电连接衬底与对置衬底。

[解决问题的方法]

(1)依据本发明的显示装置的制造方法包含：制备与用于显示图像的电路层堆叠的第一衬底，所述电路层由绝缘膜覆盖，所述电路层包含第一导电膜；通过使用激光在所述绝缘膜中形成穿透孔而在所述第一导电膜中形成孔；制备形成有第二导电膜的第二衬底；及通过使所述绝缘膜与所述第二导电膜对置而安置所述第一衬底及所述第二衬底，且插入导电材料以接触所述第一导电膜中的所述孔的内面及所述第二导电膜。依据本发明，所述导电材料为安全地电连接的，这是因为其穿透覆盖所述第一导电膜的所述绝缘膜而接触所述第一导电膜中的所述孔的内面。由此，有可能电连接形成于所述第一衬底上的所述第一导电膜与形成于所述第二衬底上的所述第二导电膜。

(2)在以上(1)中描述的用于所述显示装置的所述制造方法中，可接受的是使所述孔为穿透所述第一导电膜的穿透孔。

(3)在以上(1)中描述的用于所述显示装置的所述制造方法中，可接受的是使所述孔为并不穿透所述第一导电膜的凹面部分，且使所述导电材料经安置以接触所述凹面部分的底面。

(4)在以上(1)中描述的用于所述显示装置的所述制造方法中，可接受的是使所述第一导电膜由多个层组成。

(5)依据本发明的显示装置包含：第一衬底，其与用于显示图像的电路层堆叠，所述电路层由绝缘膜覆盖，所述电路层包含第一导电膜；孔，其是通过使用激光在所述绝缘膜中形成穿透孔而形成于所述第一导电膜中；第二衬底，其形成有第二导电膜，所述第一衬底及所述第二衬底经布置使得所述绝缘膜与所述第二导电膜彼此对置；及导电材料，其插入在所述第一衬底与所述第二衬底之间，使得所述导电材料接触所述第一导电膜中的所述孔的内面及所述第二导电膜。依据本发明，所述导电材料为安全地电连接的，这是因为其穿透覆盖所述第一导电膜的所述绝缘膜而接触所述第一导电膜中的所述孔的内面。由此，有可能电连接形成于所述第一衬底上的所述第一导电膜与形成于所述第二衬底上的所述第二导电膜。

(6)在(5)中揭示的所述显示装置的特征可在于：用于控制光的穿过与阻挡的快门及用于驱动所述快门的驱动单元安置在所述第一衬底上，其中所述快门由与所述绝缘膜相同的材料组成的绝缘膜覆盖。

(7)在以上(6)中描述的所述显示装置中，可接受的是使所述第一导电层电连接到所述快门。

附图说明

图1为依据本发明的实施例的显示装置的截面视图；

图2为快门及用于快门的驱动单元的透视图；

图3为用于电连接第一衬底与第二衬底的结构的解释性视图；

图4为用以解释依据本发明的实施例的显示装置的制造方法的视图；及

图5为用以解释依据本发明的替代实施例的显示装置的视图。

具体实施方式

现在将在下文参考图式描述本发明的实施例。