[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法和磨削磨石

说明书

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘。

背景技术

如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：Hard Disk Drive)。特别是在笔记本型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的面上方略微悬浮的磁头对磁性层记录磁记录信息或从磁性层读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。

另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化，在该垂直磁记录方式中，使磁记录层的磁化方向相对于基板的面为垂直方向。由此，能够增大1张磁盘基板中的存储容量。并且，为了进一步增大存储容量，还进行通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从而极大地缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。另外，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height：动态飞行高度)控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DFH头。对于与这种DFH头组合用于HDD的磁盘用玻璃基板的主表面，为了避免与磁头或从磁头进一步突出的记录再现元件部之间的碰撞或接触，将该主表面制作成极为平滑的表面。

在制造磁盘用玻璃基板时，对开有内孔的圆盘状玻璃基板的内周端部以及外周端部实施倒角加工。即，形成介于玻璃基板的主表面与侧壁面之间的倒角面。通过形成倒角面，能够防止从玻璃基板产生异物，抑制在将制造出的磁盘组入HDD时的磁头划碰故障和热粗糙故障等缺陷。

作为圆盘状玻璃基板的端面磨削方法，已知有如下方法：驱动外周部形成有槽部的磨石绕相对于旋转的被加工物的旋转轴倾斜的旋转轴旋转，并将磨石的槽部按压于被加工物的外周部或者内周部，由此进行被加工物的外周部或者内周部的端面磨削(下面记为专利文献1)。根据该端面磨削方法，在面接触的状态下进行端面的磨削，缓和了与被加工物的外周部或者内周部冲击性地进行接触，因此能够效率良好地得到良好的表面质量。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－167753号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，本申请的发明人们根据上述专利文献1中记载的端面磨削方法，对开有内孔的圆盘状玻璃基板的端面进行磨削时，确认到端面的表面质量提高，但另一方面知晓了存在一对倒角面(例如在外周端面的情况下，倒角面分别介于外周的侧壁面与一对主表面之间；在内周端面的情况下也同样)的倒角各自不同的问题。如果磁盘用玻璃基板的一对倒角面的倒角各自不同，则在将磁盘组入HDD并使其旋转时将产生HDD框体内的气流的紊乱，成为产生颤动(fluttering)的原因，因而不希望如此。并且，在为了在玻璃基板上成膜而夹持磁盘用玻璃基板的外周端面时，在外周侧的一对倒角面的倒角各自不同的情况下，由于不能高精度地进行夹持而可能导致膜厚控制的精度降低。

因此，本发明的目的在于，提供一种在制造磁盘用玻璃基板的过程中磨削圆盘状玻璃基板的端面时，能够确保良好的端面质量且可以使一对倒角面的倒角相同的磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法以及磨削磨石。

用于解决课题的手段

本申请的发明人们对在通过驱动形成有槽部的磨石绕相对于玻璃基板的旋转轴倾斜的旋转轴旋转，并将磨石的槽部按压于玻璃基板的外周部或者内周部而进行的玻璃基板的端面磨削中、加工时与玻璃基板的一对倒角面接触的磨石槽部的一对开口角被设为相同的情况下，一对倒角面的倒角却不同的原因进行了深入研究。其结果是，查明了由于玻璃基板的旋转轴相对于磨石的旋转轴倾斜，通过一方的倒角面与通过另一方的倒角面加工时的磨粒的作用不同，因而加工后的倒角不相同。