[发明专利]对准传感器、光刻设备和对准方法

权利要求书

1.一种对准传感器，包括：

至少一个照明源，包括可操作成以取决于波长的角度衍射高阶辐射的衍射照明结构；以及

照明光学器件，可操作成从相对方位角方向的至少一个配对将来自所述至少一个照明源的所述衍射的照明辐射递送至衍射对准结构上的点上，其中所述对准传感器可操作成使得在由所述衍射对准结构将所述照明辐射衍射之后，并且独立于所述照明辐射中所包括的波长：

从相对方位角方向的每个配对中的第一个入射的辐射的第零阶衍射与从相对方位角方向的每个配对中的第二个入射的辐射的高阶衍射重叠；以及

从相对方位角方向的每个配对中的第二个入射的辐射的第零阶衍射与从相对方位角方向的每个配对中的第一个入射的辐射的高阶衍射重叠；

由此采用重叠的第零阶光学放大所述高阶衍射。

2.根据权利要求1所述的对准传感器，其中，所述照明源是多波长照明源，并且所述对准传感器可操作成针对入射在所述衍射对准结构上的每个分量波长采用重叠的第零阶光学放大所述高阶衍射。

3.根据权利要求1或2所述的对准传感器，其中，从相对方位角方向的每个配对中的所述第一方向和第二方向入射在所述衍射对准结构上的辐射是相干的。

4.根据权利要求1、2或3所述的对准传感器，其中从相对方位角方向的每个配对中的所述第一方向和所述第二方向入射在所述衍射对准结构上的辐射针对每个分量波长具有相同的入射角。

5.根据先前权利要求中任一项所述的对准传感器，其中，所述照明光学器件使得在从所述衍射照明结构衍射之后，从相对方位角方向的每个配对中的第一个入射在所述衍射对准结构上的辐射包括正高阶衍射的辐射，并且从相对方位角方向的每个配对中的第二个入射在所述衍射对准结构上的辐射包括负高阶衍射的辐射。

6.根据先前权利要求中任一项所述的对准传感器，其中，所述衍射照明结构具有所述衍射对准结构的节距乘以所述照明光学器件的缩放因子的两倍的节距。

7.根据先前权利要求中任一项所述的对准传感器，其中，所述衍射照明结构包括空间光调制器。

8.根据权利要求7所述的对准传感器，其中，所述空间光调制器可操作成调制其所调制光的幅度、相位和/或偏振。

9.根据权利要求7或8所述的对准传感器，其中，所述空间光调制器可操作成将所需衍射照明结构图案网格快照至具有由所述空间光调制器的单独的可切换元件所限定的不可分割网格元件的网格。

10.根据权利要求9所述的对准传感器，其中，所述所需衍射照明结构图案需要构成所述照明结构图案的一个或多个单独的图案元件的宽度具有不是每个不可分割网格元件的相关尺寸的整数倍的数值；以及

所述空间光调制器可操作成通过沿着单个图案结构的长度在每个不可分割网格元件的相关尺寸的整数倍的数值之间改变所述单独的图案元件的宽度来近似所述单独的图案元件。

11.根据权利要求9或10所述的对准传感器，其中，所述所需衍射照明结构定向成关于所述网格非正交，由此引起在衍射照明结构内包括的边缘的混淆效应，所述空间光调制器可操作成使用抗混淆技术减轻所述混淆效应以使得在所述边缘处的网格元件具有色调的中间变化。

12.根据权利要求7至11中任一项所述的对准传感器，包括参考支路，所述参考支路可操作成测量所述空间光调制器中的漂移。

13.根据权利要求12所述的对准传感器，其中，所述参考支路包括干涉仪，所述干涉仪可操作成确定从相对方位角方向的每个配对中的第一方向与第二方向入射在所述衍射对准结构上的辐射之间的相位差。

14.根据权利要求13所述的对准传感器，其中，所述参考支路可操作成输出两个参考支路输出信号，其随着所确定的相位差改变而反相改变，所述空间光调制器的漂移是根据所述参考支路输出信号的差值而确定的。

15.根据权利要求14所述的对准传感器，其中，所述参考支路可操作成根据所述参考支路输出信号的总和测量从所述照明源发出的辐射中的噪声强度。