[发明专利]树脂模制装置和树脂模制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种有效地应用于树脂模制装置和树脂模制方法的技术。

背景技术

例如在半导体装置的树脂模制工序中，主要采用从供给口向模腔中注入填充树脂而密封工件的传递成形和向模腔内供给树脂而密封工件的压缩成形。根据对象的工件、成形的包装的形态以及使用的树脂等相应地适当选择该传递成形和压缩成形。例如，在传递成形中大多采用使颗粒树脂固态化而成的片状树脂、液态树脂，在压缩成形中大多采用液态树脂、颗粒树脂。作为采用液态树脂的装置，在日本特开2012－101517号公报(专利文献1)中记载有一种具备树脂供给装置的传递成形装置，该树脂供给装置包括用于滴下液态树脂的滴下机构以及用于使滴下机构移动的旋转机构和进退运动机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－101517号公报

发明内容

发明要解决的问题

这样，树脂模制装置(模制成形品的制造装置)以如下方式被提供：为了针对传递成形、压缩成形分别作为传递成形装置、压缩成形装置提高生产率，各部结构最佳化。

另外，在半导体制造工厂中，为了根据产品规格等选择性地使用传递成形装置和压缩成形装置，大多两种装置都具备。在这种情况下，在工厂内需要设置多种装置，因此，设置面积增大，这些各种装置的维持管理费增加，并且由于是选择性地使用，因此，运行率下降，收回成本要花费很长时间，也被认为会对制造成本产生不良影响。

此外，作为成形品，也存在如下这样的产品：通过在使用传递成形装置进行了传递成形之后使用压缩成形装置进行压缩成形来制造、或者通过使用压缩成形装置进行了压缩成形之后使用传递成形装置进行传递成形来制造。在为了得到这样的成形品而设置使用每种成形方法的树脂模制装置的情况下，要在设置部位取得场地、或者进行设备投资，因此，成形品的制造成本会升高。

本发明的目的在于提供一种能够在一个树脂模制装置中进行传递成形和压缩成形的技术。根据本说明书的记述和附图可明确本发明的所述以及其他的目的和新特征。

用于解决问题的方案

简单地说明在本申请中公开的发明中的、代表性的方式的概要，内容如下。

本发明的一技术方案的树脂模制装置具备：冲压部，其具有用于对工件进行树脂模制成形的模制模具；树脂供给部，其构成为能够保持模制成形所采用的树脂并将该树脂供给到所述模制模具；以及控制部，其用于控制所述冲压部和所述树脂供给部，其中，该模制模具具备构成为能够保持向模腔供给的树脂的供给口和用于将该供给口内的树脂加压输送到所述模腔的柱塞，所述冲压部构成为能够在所述模制模具中驱动该柱塞，所述控制部构成为能够选择性地执行进行传递成形的成形处理和进行压缩成形的成形处理，而且构成为根据外部输入结果选择执行设定好的所述成形处理，在所述传递成形处理中，执行将传递成形用的树脂供给到所述供给口，利用所述柱塞将所述传递成形用的树脂加压输送到所述模腔的处理，在所述压缩成形处理中，执行将压缩成形用的树脂供给到模腔的处理，所述树脂供给部构成为能够与所述选择出的成形处理相应地向所述模制模具选择性地供给所述传递成形用的树脂和所述压缩成形用的树脂。在此，所述冲压部具备所述模制模具，该模制模具具有模腔块和包围该模腔块的夹持件，所述模腔块相对于所述夹持件相对地移动而所述模腔的容积发生变化，所述树脂供给部具备在所述冲压部的内部和外部之间移动而保持树脂的树脂保持部，在传递成形处理中，使保持着传递成形用树脂的所述树脂保持部移动到供给口位置，利用所述树脂保持部向所述供给口内供给传递成形用树脂，在压缩成形处理中，使保持着压缩成形用树脂的所述树脂保持部移动到模腔位置或工件位置，利用所述树脂保持部向所述模腔内或者被搬入到所述模制模具中的工件上供给压缩成形用树脂。还优选的是，所述控制部构成为将设定好的一个所述成形处理连续地执行设定次数。

由此，即便是自动机，也能够利用简单的结构进行传递成形和压缩成形这两者。因而，能够提升树脂模制装置的附加价值。

所述一技术方案的树脂模制装置优选的是，在所述夹持件上形成有将所述模腔和所述供给口连通的浇道口，所述冲压部具备用于打开或关闭所述浇道口的开闭机构，所述开闭机构在传递成形处理时成为“打开”状态，在压缩成形处理时成为“关闭”状态。