[发明专利]基板镀敷装置

权利要求书

1.一种镀敷装置，具备；

收容镀敷液的镀敷槽；拆装自如地保持基板的基板保持件；与基板保持件所保持的基板相对置地配置的阳极；以与基板保持件平行的方式架设在镀敷槽的上方的轨道部；悬垂支持于所述轨道部且可沿轨道部往返移动的桨叶，

其特征在于：在所述桨叶上垂直设置有以轴部为中心旋转自如或转动自如的叶片部。

2.如权利要求1所述的镀敷装置，其特征在于，所述叶片部借助于驱动装置而总是以单一方向旋转。

3.如权利要求1所述的镀敷装置，其特征在于，所述叶片部借助于驱动手段而在规定的角度范围内转动。

4.如权利要求1所述的镀敷装置，其特征在于，在所述桨叶上，垂直设置在上下的圆板状的支持部之间的一组叶片部被形成为以连续设置在上部的支持部上的轴部为旋转轴而旋转自如的方式。

5.如权利要求4所述的镀敷装置，其特征在于，在所述桨叶上，设置有沿侧面弯曲成半圆形的覆盖部。