[发明专利]具有带具有渐变侧壁的连续突起的抛光表面的抛光垫

权利要求书

1.一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：

抛光主体，所述抛光主体具有与背面相对的抛光侧；和

抛光表面，所述抛光表面包括与所述抛光主体的所述抛光侧连续的多个突起，每个突起包括远离抛光主体的平坦表面以及从所述平坦表面朝向抛光主体向外渐变的侧壁，其中，所述多个突起成六边形组合图案布置，以及

在抛光主体的抛光侧的最外缘处围绕所述多个突起的实心环，所述实心环与抛光主体的抛光侧连续并且具有与所述多个突起的六边形组合图案的外形一致的内部形状，其中，所述多个突起的六边形组合图案被实心环内的多个槽中断。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，每个突起的侧壁是平坦的。

3.根据权利要求2所述的抛光垫，其中，所述侧壁与抛光主体的抛光表面的法线成小于30度的角度渐变。

4.根据权利要求3所述的抛光垫，其中，所述侧壁与抛光主体的抛光表面的法线成0.1-10度的范围内的角度渐变。

5.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，每个突起的侧壁是弯曲的。

6.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，每个突起的侧壁呈阶梯状。

7.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起中的每一个的平坦表面具有选自由圆形、椭圆形和多边形组成的群组的形状。

8.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述多个突起的六边形组合图案采用交错布置结构在所述环附近终止。

9.根据权利要求1所述的抛光垫，还包括：

居中地设置在所述多个突起的六边形组合图案内的按钮区域，所述按钮区域具有六边形形状。

10.根据权利要求9所述的抛光垫，其中，所述按钮区域还在所述六边形形状的一条边上包括三角形时钟标记。

11.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起成正方形组合图案布置。

12.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起布置在多个高密度区域中，所述高密度区域具有的高密度区域内相邻突起之间的间距比相邻的高密度区域的相邻突起之间的间距小。

13.根据权利要求12所述的抛光垫，其中，每个高密度区域的突起成六边形组合图案布置。

14.根据权利要求13所述的抛光垫，其中，所述高密度区域中的每一个呈大致正方形或长方形，并且所述多个高密度区域中的每个高密度区域之间的间隔基于X-Y网格图案。

15.根据权利要求13所述的抛光垫，其中，所述高密度区域中的每一个具有选自由三角形、菱形和条形组成的群组的形状。

16.根据权利要求15所述的抛光垫，其中，所述高密度区域中的每一个具有菱形形状，并且多个高密度区域的子图案以所述抛光垫的每60度转动重复。

17.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起中的每一个在接近抛光主体处具有在1-30毫米的范围内的最大横向尺寸，在接近抛光主体处所述突起彼此之间的间距在0.1-3毫米的范围内。

18.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起的第一部分中的每个突起在接近抛光主体处具有第一最大横向尺寸，并且所述多个突起的第二部分中的每个突起在接近抛光主体处具有不同的第二最大横向尺寸。

19.根据权利要求18所述的抛光垫，其中，所述第一部分包括具有10毫米的第一最大横向尺寸的突起，该突起由所述第二部分中的每个具有1毫米的第二最大横向尺寸的多个突起包围。

20.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起的第一部分中的每个突起的平坦表面具有第一形状，并且所述多个突起的第二部分中的每个突起的平坦表面具有不同的第二形状。

21.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起的总表面积是抛光主体的抛光侧的总表面积的40％-80％的范围内的部分。

22.根据权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个突起中的每一个的高度在0.5-1毫米的范围内。