[发明专利]试剂和抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种试剂，其特征在于：

向所述试剂提供能量或向接受所述能量的受体提供能量由所述试剂产生中间物；并且

所述中间物增进酸从前驱体的产生。

2.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物具有还原特性。

3.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物是自由基。

4.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物释放具有还原特性的氢原子和氢离子中的至少一者。

5.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物是羰游基自由基。

6.根据权利要求1所述的试剂，其中所述能量的提供通过用光辐照而进行。

7.根据权利要求1所述的试剂，其中所述能量的提供通过用波长等于或短于15nm的光以及电子束中的至少一者辐照所述试剂而进行。

8.一种组合物，其包含：

根据权利要求1所述的试剂；和

充当酸的产生源的第一化合物。

9.根据权利要求8所述的组合物，其进一步包含：

具有可通过酸裂解的键的第二化合物。

10.一种组合物，其包含：

由式(I)表示的试剂；和

充当酸的产生源的第一化合物，

其中：

R¹是氢原子；

R²是氢原子、烷基羰基、芳基羰基、烷基、烯基、芳烷基、炔基、含有环状或多环状部分的烷基或含有至少一个除碳原子和氢原子以外的原子的取代基；并且

R³是氢原子、烷基羰基、芳基羰基、烷基、烯基、芳烷基、炔基、含有环状或多环状部分的烷基或含有至少一个除碳原子和氢原子以外的原子的取代基。

11.一种组合物，其包含：

试剂；和

通过接受能量或至少一个氢原子产生酸的第一化合物，所述试剂包括：

羟基；和

含有键结到所述羟基以及氢原子的碳原子的第一环状部分。

12.根据权利要求11所述的组合物，其中：

所述试剂进一步包括第二环状部分，并且

所述第一环状部分含有至少两个还含于所述第二环状部分中的原子。

13.根据权利要求12所述的组合物，其中：

所述试剂进一步包括第二环状部分，并且

所述第一环状部分含有至少两个还含于所述第三环状部分中的原子。

14.根据权利要求11所述的组合物，其中所述第一环状部分是六元环或五元环。

15.根据权利要求11所述的组合物，其中所述第二环状部分是芳香族基团。

16.一种组合物，其包含：

由式(II)表示的试剂；和

通过接受能量或至少一个氢原子产生酸的第一化合物，

其中：

Z是羰基、亚甲基、烷氧基亚甲基、芳氧基亚甲基或羟基亚甲基；

R⁴是芳基、或含有芳香族基团并且在所述芳香族基团上具有含有至少一个除碳原子和氢原子以外的原子的取代基的芳基；并且

R⁵是氢原子、烷基羰基、芳基羰基、烷基、烯基、芳烷基、炔基、含有环状或多环状部分的烷基或含有至少一个除碳原子和氢原子以外的原子的取代基。

17.根据权利要求10所述的组合物，其中所述第一化合物是含有錪离子或锍离子的有机盐。

18.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物通过从所述试剂提取氢原子而产生。

19.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物的基态的第一氧化电位和激发态的第二氧化电位中的至少一者与所述前驱体的基态的第一还原电位和激发态的第二还原电位中的至少一者之间的差值等于或大于0.10eV。

20.根据权利要求19所述的试剂，其中所述第一还原电位低于所述第一氧化电位和所述第二氧化电位中的至少一者。

21.根据权利要求1所述的试剂，其中所述中间物具有还原特性。