[发明专利]转速传感器和用于运行转速传感器的方法

权利要求书

1.一种转速传感器(1，1”)，其用于探测所述转速传感器(1，1 ” )围绕旋转轴线(300，300”)的旋转运动，其中，所述旋转轴线(300，300”)在所述转速传感器(1，1”)的驱动平面(100)内延伸，其中，所述转速传感器(1，1”)具有第一旋转元件(10)、第二旋转元件(10’)和能够平行于所述驱动平面(100)运动的驱动结构(20，20”)，其中，所述第一旋转元件(10)能够围绕第一旋转中心(13)被驱动成平行于所述驱动平面(100)的第一旋转振动，其中，所述第二旋转元件(10’)能够围绕第二旋转中心(13’)被驱动成平行于所述驱动平面(100)的第二旋转振动，其特征在于，所述驱动结构(20，20”)与所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)耦合，其中，所述驱动结构(20，20”)配置用于产生所述第一旋转振动和所述第二旋转振动的相反相位的驱动模式，其中，所述驱动结构(20，20”)能够沿着驱动方向(201)线性运动地布置，其中，所述驱动结构(20，20”)构造为完全包围所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)的驱动框(20，20”)。

2.根据权利要求1所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，其中，所述驱动结构(20，20”)与所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)耦合，使得借助所述驱动结构(20，20”)沿着所述驱动方向(201)的线性运动彼此反向地驱动所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)。

3.根据以上权利要求中任一项所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)与衬底的第一固定元件耦合，而所述第二旋转元件(10’)与所述衬底的第二固定元件耦合，其中，所述驱动结构(20，20”)通过第一耦合元件(11，14)与所述第一旋转元件(10)耦合，其中，所述驱动结构(20，20”)通过第二耦合元件(11’，14’)与所述第二旋转元件(10’)耦合，其中，所述第一旋转元件(10)在所述第一旋转中心(13)的区域中具有完全地或者部分地包围所述第一固定元件的第一凹部，其中，所述第二旋转元件(10’)在所述第二旋转中心(13’)的区域中具有完全地或者部分地包围所述第二固定元件的第二凹部。

4.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)通过摆动结构(30，30’)彼此耦合，其中，所述摆动结构(30，30’)具有摆动旋转轴线，其中，所述摆动旋转轴线平行于所述旋转轴线(300，300”)布置。

5.根据权利要求4所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)和所述第二旋转元件(10’)仅仅通过所述摆动结构(30，30’)、或者仅仅通过所述转速传感器(1，1”)的衬底、所述驱动结构(20，20”)和所述摆动结构(30，30’)彼此耦合。

6.根据权利要求1或2所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述驱动结构(20，20”)的驱动方向(201)平行于所述旋转轴线(300，300”)地布置，或者所述驱动方向(201)与所述旋转轴线(300，300”)围成对顶角，其中，所述对顶角从所述旋转轴线(300，300”)出发朝向所述驱动方向(201)为0度和90度之间。

7.根据权利要求3所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第一旋转元件(10)与所述衬底的所述第一固定元件通过第一复位元件(12)耦合。

8.根据权利要求3所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述第二旋转元件(10’)与所述衬底的所述第二固定元件通过第二复位元件(12’)耦合。

9.根据权利要求6所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述对顶角为30度和60度之间。

10.根据权利要求6所述的转速传感器(1，1”)，其特征在于，所述对顶角为45度。